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钪铝合金溅镀目标

发明专利有效专利

申请号：
CN201510093300.3
IPC分类号：H03H3/02;C23C14/34;C22C21/00
申请日期：
2015-03-02
申请人：
安华高科技通用IP（新加坡）公司

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	钪铝合金溅镀目标
申请号	CN201510093300.3	申请日期	2015-03-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2015-09-02	公开/公告号	CN104883149A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H3/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H3/00 专用于制造阻抗网络、谐振电路、谐振器的设备或方法 H03H3/007 用于制造机电谐振器或网络〔3〕 H03H3/02 用于制造压电或电致伸缩谐振器或网络（H03H 3/08优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;3;/;0;2;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;2;C;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	安华高科技通用IP（新加坡）公司	申请人地址	新加坡新加坡市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安华高科技股份有限公司	当前权利人	安华高科技股份有限公司
发明人	克里斯·冯;叶堂水;约翰·克伊;凯文·J·格伦纳;菲尔·尼克尔
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	林斯凯

摘要

本申请涉及钪铝合金溅镀目标。一种溅镀目标包括钪铝合金，其中所述合金具有3‑10原子百分数的钪和90‑97原子百分数的铝的浓度。所述溅镀目标可用于制造例如声谐振器的设备的压电层。

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