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传感器装置和用于校准传感器装置的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610791782.4
  • IPC分类号:G01D3/036;G01D18/00
  • 申请日期:
    2016-08-31
  • 申请人:
    罗伯特·博世有限公司
著录项信息
专利名称传感器装置和用于校准传感器装置的方法
申请号CN201610791782.4申请日期2016-08-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-03-08公开/公告号CN106482752A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01D3/036IPC分类号G;0;1;D;3;/;0;3;6;;;G;0;1;D;1;8;/;0;0查看分类表>
申请人罗伯特·博世有限公司申请人地址
德国斯图加特 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人罗伯特·博世有限公司当前权利人罗伯特·博世有限公司
发明人H·赫费尔;F·格拉巴迈尔;H·P·贝尔
代理机构永新专利商标代理有限公司代理人侯鸣慧
摘要
本发明提供具有温度补偿的传感器装置,尤其是具有微机电传感器的、被温度补偿的传感器装置。为了校准该传感器装置可借助传感器装置的载体衬底中的电加热元件对传感器装置进行调温。温度的调节在此通过适配电加热元件中的电流来进行。通过该方式可特别简单地求取用于传感器的温度补偿的校准数据。

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