处理装置及机械手装置

1.处理装置，它是用于处理被处理物的，其特征在于：设有下列 构件，即：
配置成上段和下段这样的上下二段的多个处理部；
与位于上段或下段中的任意一方的一端上的处理部相对配置的、 保持尚未处理的被处理物的装料部；
与位于上段或下段中的另一方的一端上的处理部相对配置的、收 容被处理过的被处理物的卸料部；
从上述装料部将未处理的被处理物供给位于上段或下段中的任意 一方的一端上的第一交接机构；
从位于上段或下段中的任意一方的另一端上的处理部接受被处理 物、并将这被处理物供给位于上段或下段的另一方的另一端上的第二 交接机构；
在规定的处理部的输出侧设置固定式滚筒组件，它是按规定的高 度配置的，而且接受从上述处理部输出的被处理物；
上述第二交接机构包括下降或上升的可动式滚筒组件和将防止干 燥用的液体供向被处理物的液体供给机构。所述可动式滚筒组件是沿 上下方向被驱动的，而且在上升位置或下降位置是与上述固定式滚筒 组件并排设置、接受被交接到这个固定式滚筒组件上的被处理物的； 而上述被被处理物由上述可动式滚筒组件输送。
2.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：在上段或下段的 任意一方上设置多个处理部，它们对上述被处理物进行处理；在这些 处理部的附近设置输入、输出机构，将被处理物输入、输出到各个处 理部。
3.如权利要求2所述的处理装置，其特征在于：把上述输入、输 出机构配置在下段，在这输入、输出机构的附近配置着别的处理部， 在上述输入、输出机构和别的处理部之间设置着分流机构，将供给上 述别的处理部的一部分净化空气分流给上述输入、输出机构。
4.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：上述第二交接机 构还包括下列构件，即，设置在上述可动式滚筒组件的下侧、集积由 上述液体供给机构供给的液体、而且与上述可动式滚筒组件成一体地 被上下驱动的排放盘；与这排放盘相连接、将集积在排放盘里的液体 排出的可动管；和能自由滑动地插入在这可动管里的固定管。
5.如权利要求1所述的处理装置，其特征在于：
在上述可动式滚筒组件上升时，紧挨着的上述固定式滚筒组件和 可动式滚筒组件的一侧设置着第一防水罩和第二防水罩，它们有向各 自的滚筒组件的内方、朝低处倾斜的倾斜部，设置在上述可动式滚筒 组件上的第二防水罩的倾斜部，处于在使这可动式滚筒组件上升时与 上述固定式滚筒组件的防水罩的倾斜部的下方相重合位置。
6.如权利要求2所述的处理装置，其特征在于：上述输入、输出 机构由下列构件组成，即，沿其移动方向设置的导引部；与这导引部 平行而且借助规定的间隔设置的驱动装置；配置在上述导引部和驱动 装置之间，而且由这些导引部和驱动装置能自由行进地支持、并由驱 动装置能沿其行进方向驱动的机械手；沿这机械手的行进方向两侧、 覆盖上述导引部和驱动装置地设置的罩体。
7.机械手装置，它设有第一臂和第二臂，它们都是将多个连杆能 自由转动地连接，而且设有把被处理物保持在前端的定位调节件并进 行伸缩运动的，其特征在于：上述第一臂的定位调节件位于第二臂的 定位调节件的上方，而且在这第二臂的定位调节件上设置着喷嘴，它 向被保持在该处的被处理物喷射液体。

技术领域\n本发明涉及一种用多个处理部依次处理液晶用玻璃基板和半导体 晶片等被处理物的处理装置以及用来输送上述被处理物的机械手装 置。\n背景技术\n以前，在液晶用的玻璃基板或半导体晶片等被处理物上形成回路的 制造工序中，要对这些被处理物进行种种处理，其中的一个处理是要求 用高洁净度洗净上述被处理物的工序。\n在被处理物的洗净方面，已知的有各种洗净机构(处理部)，譬如 有：将紫外线照射在被处理物上、使有机物分解而加以除去的紫外线照 射机构；一边将药液等喷涂在输送中的被处理物上、一边用刷子加以洗 净的刷子洗净机构；将被处理物保持在工作台上、一边使其旋转、一边 喷涂药液等洗净液的旋转洗净机构等，在用多个洗净机构洗净处理被处 理物时，还相对于这些洗净机构设置输送机构(处理部)，将被处理物输 入、输出。\n为了提高被处理物的洁净度，要在上述多个洗净机构中尽可能多地 采用洗净机构对被处理物进行清洗。这时把组件化的多个洗净机构平面 地并排设置在清洗室里，用输送机构把要洗净的被处理物相对多个洗净 机构依次进行输入、输出。\n但是，在把上述多个洗净机构和输送机构平面地配置时，多个洗净 机构和输送机构会占去清洗室中较大的空间。要尽可能有效地利用清洗 室中的空间。因此在洗净被处理物时，最好将多个洗净机构和输送机构 所占的空间缩小。\n为了把上述被处理物在并排设置的洗净机构间进行输送，在上述洗 净机构上的洗净处理是连续进行的场合下，只要用传送带进行连续输送 就可以。但在洗净机构上的洗净处理是如旋转洗净那样不是连续进行的 场合下，则用机械手装置输送上述被处理物，这机械手装置构成上述的 输送机构，其作为一个处理部。\n在把机械手装置用作输送机构时，有时是使这机械手装置沿着并排 的多个洗净机构行进的。这时在上述机械手装置的行进范围内要设置轨 道。\n但是，在用上述机械手装置输入、输出那些要被洗净的被处理物 时，从被处理物上滴下的洗净液有时会滴到上述轨道上。作为洗净液除 了纯水以外，有时会用酸度很高的药液等用作洗净液。因此在把这种药 液用作洗净液时，从被处理物上滴下的药液会腐蚀轨道，会损伤用来控 制上述机械手装置的电缆。\n而且，在用机械手装置把被处理物输入到规定的洗净机构时，在这 洗净机构上对被处理物的洗净结束之前，必须把由前一道工序洗净的被 处理物停留并处于待机状态。在这种场合下一旦待机时间加长，就有使 前一道工序附着在上述被处理物上的洗净液干燥，并沾染等附着在这被 处理物上的问题。\n上述的空间问题不仅在洗净处理被处理物时会发生，在各种工序也 存在这问题。譬如在涂敷保护膜的场合下，由于设置涂敷装置、加热装 置、预热装置等多个处理部，因而就产生同样的问题。\n发明内容\n本发明的目的是提供一种处理装置，它能把多个处理部设置在较小 的空间里。\n本发明的另一个目的是提供一种这样的处理装置，即为了用机械手 装置在处理部之间交接被处理物、使这机械手装置沿着处理部行进时， 洗净液不会从上述被处理物滴到下边的机械手装置的轨道等上面。\n本发明的再一个目的是提供一种这样的处理装置，即，即使机械手 装置在处理部之间进行交接的被处理物停留时，甚至在待机状态下，也 不会使这被处理物干燥。\n为了达到上述目的而作出的本发明的一个最佳实施例的处理装 置，它是用来处理被处理物的，其特征在于设有下列构件，即：\n被配置成上段和下段等上下二段的多个处理部；\n与位于上段或下段中的任意一方的一端上的处理部相对配置的、保 持尚未处理的被处理物的装料部；\n与位于上段或下段的另一方的一端上的处理部相对配置的、收容被 处理过的被处理物的卸料部；\n从上述装料部将未处理的被处理物供给位于上段或下段的任意一 方的一端上的第一交接机构；\n从位于上段或下段的任意一方的另一端上的处理部接受被处理 物、并将这被处理物供给位于上段或下段的另一方的另一端上的第二交 接机构；\n在规定的处理部的输出侧设置固定式滚筒组件，它是按规定的高 度配置的，而且接受从上述处理部输出的被处理物；\n上述第二交接机构由下降或上升的可动式滚筒组件构成，它是沿 上下方向被驱动的，而且在上升位置或下降位置是与上述固定式滚筒 组件并排设置、接受被交接到这个固定式滚筒组件上的被处理物的；\n将防止干燥用的液体供向被处理物的液体供给机构，这被处理物 由上述可动式滚筒组件输送。\n这样，与平面地配置的场合相比，能把设置多个处理部所需要的专 用面积缩小。\n为了达到上述目的而作出的本发明一个最佳实施例的机械手装 置，它设有第一臂和第二臂，它们都是将多个连杆能自由转动地连接， 而且设有把被处理物保持在前端的定位调节件并进行伸缩运动，其特征 在于上述第一臂的定位调节件位于第二臂的定位调节件的上方，而且在 这第二臂的定位调节件上设置着喷嘴，它向被保持在该处的被处理物喷 射液体。\n这样，能防止被保持在位于下侧的第二臂的定位调节件上的被处理 物表面干燥；能防止用来防止上述被处理物表面干燥的液体附着到被保 持在位于上侧的第一臂的定位调节件上的被处理物上。\n附图说明\n图1是表示本发明一个实施例的整体结构图；\n图2是表示上述实施例的第二交接机构的侧视图；\n图3是表示上述实施例的机械手配置状态的侧视图；\n图4是表示上述机械手的斜视图；\n图5是说明将净化空气导入机械手的结构图；\n图6是表示上述实施例的可动滚筒组件和固定滚筒组件的断面 图。\n具体实施方式\n下面，参照附图说明本发明的一个实施例。\n图1所示的本发明的处理装置是洗净处理装置1，它是用于洗净处 理作为被洗净物的液晶用玻璃基板的。这个洗净处理装置1设有如图中 用双点划线表示的多个处理组件，在本实施例中设有第一～第五处理组 件1a～1e，第一～第三处理组件1a～1c和第四、第五处理组件1d、1e 并排设置成二列。图中的2是电装组件。\n在上述第一处理组件1a内有设置在座3上的装料部4。在这装料 部4上、多片液晶用玻璃基板5层叠地保持着，由设置在上述座3上的 图中没表示的输出机构、从下方将液晶用玻璃基板5依次一片片地输 出。\n由第一交接机构6把从上述装料部4输出的液晶用玻璃基板5送入 到第二处理组件1b里。上述第一交接机构6设有垂直地直立设置的支 柱7。在这支柱7上设有滚筒组件8，它能由图中没表示的驱动源上下 自由地驱动。这个滚筒组件8设有构架9，在这构架9上架设着多个滚 筒11，能使它们的轴线相互并行而且能自由地旋转。在构架9的一侧设 置着使上述滚筒11旋转的驱动源12。\n使上述滚筒组件8的上表面下降到与上述装料部4输出的液晶用玻 璃基板5相同的高度而处于待机状态下，把从上述装料部4输出的液晶 用玻璃基板5供到上述滚筒组件8上。使接受液晶用玻璃基板5的滚筒 组件8上升，将液晶用玻璃基板5供到按规定高度设置在第二处理组件 1b内的紫外线照射装置15上。\n上述紫外线照射装置15在其一侧形成了供给口16，使上述滚筒组 件8上升、直到放置在其上表面上的液晶用玻璃基板5与上述供给孔16 相同的高度上。接着由驱动源12使滚筒11旋转，由此将上述液晶用玻 璃基板5供到上述紫外线照射装置15内。\n虽然图中没有详细地表示上述紫外线照射装置15，但在其内部设 有用来输送液晶用玻璃基板5的输送滚筒和紫外线灯，后者把紫外线照 射到由输送滚筒输送来的液晶用玻璃基板5上。通过用紫外线照射，就 能将附着在液晶用玻璃基板5上的有机物分解而除去。\n在上述第二处理组件1b上配置着刷子洗净组件20，它与上述紫外 线照射装置15邻接而且处于相同的高度，在其内部设置着图中没表示 的输送机构，由其连续地输送经上述紫外线照射装置15处理过的液晶 用玻璃基板5。\n上述刷子洗净组件20依次并排地设置着中性室22、刷子洗净室23 和喷淋室24，上述的中性室22一侧形成了供给上述液晶用玻璃基板5 的供给口21，而且在另一侧供给干燥空气或惰性气体，由此对从外部供 入的液体或气体加以控制；上述的刷子洗净室23是把药液等洗净液喷 涂到通过中性室22后的液晶用玻璃基板5上、与此同时进行刷子洗净； 上述喷淋室24用纯水喷淋经上述刷子洗净室23洗净的液晶用玻璃基板 5而加以洗净的。在这喷淋室24上形成图中没表示的输出口，将喷淋洗 净了的液晶用玻璃基板5输出。\n从上述喷淋室24的输出口输出的液晶用玻璃基板5经交接用的滚 筒组件30(固定式滚筒组件)、由与上述第一交接机构6大致相同结构的 第二交接机构31接收。上述第二交接机构31设有支柱32。在这支柱 32上设置着可动式滚筒组件33，它能由图中没表示的驱动源的作用而 上下自由地驱动。这个可动式滚筒组件33设有上面开口的有底状的第 一排放盘34，在这第一排放盘34上能自由旋转地架设着多个滚筒35， 使它们的轴线相互平行。在上述第一排放盘34的一侧设有驱动源34a(如 图2所示)，由这驱动源34a就能使上述滚筒35旋转驱动。\n使上述可动式滚筒组件33的上表面上升到与上述喷淋室24输出口 输送出的液晶用玻璃基板5的高度大致相同地处于待机位置。当上述可 动式滚筒组件33接受从上述喷淋室24输出的液晶用玻璃基板5时，使 可动式滚筒组件33下降。\n放置在可动式滚筒组件33上的液晶用玻璃基板5由构成输入输出 机构40(一个处理部)的机械手41取出(上述输入输出机构40是机械手装 置)，供到与上述第四处理组件1d并排设置的第一旋转处理装置42和第 二旋转处理装置43中的任何一方上。\n由于被交接到上述第二交接机构31的可动式滚筒组件33上的液晶 用玻璃基板5、在被交接到上述输入输出机构40的机械手41之前进行 干燥时会沾染被处理物，因此，为了防止产生这种因干燥沾染，把纯水 作为防止干燥的液体洒在上述玻璃基板5上。\n即，如图2所示，可动式滚筒组件33设有上述有底箱状的第一排 放盘34，在这第一排放盘34的上部两侧配置着管子状的喷淋头37。可 从各个喷淋头37将纯水喷到被保持在上述可动式滚筒组件33上的液晶 和玻璃基板5上。\n在上述第一排放盘34的底部连接着可动管38的上端，这个可动管 38垂直地设置，能自由滑动地插在直径比其大的固定管39里。这个固 定管39是中间部分固定在第二交接机构31的座31a上，下端部与图中 没表示的废液部相连通的。由此，喷射到被保持在可动式滚筒组件33 上的液晶用玻璃基板5的纯水就可从第一排放盘34通过可动管38和固 定管39而排出。\n可动管38与第一排放盘34相连接，由于将这可动管38插在固定 管39里，因而即使滚筒组件33上下移动，仍能可靠地从第一排放盘34 排水。\n即，在通常情况下，从可动部排水时，由于要使其与可动部的动作 相对应，因而采用挠性导管。这时，由于把挠性导管的长度设定成可动 部能上升的高度，因而在可动部下降时挠性导管就弯曲而向侧方突出。 因此必须确保一定的空间，以便上述挠性导管向侧方弯曲，由于可动部 的上下移动使挠性导管重复地弯曲，因而它的弯曲部分有时会提前损 伤。\n但是在本发明中没有挠性导管，将可动管38与第一排放盘34相连 接，将这可动管38能自由滑动地插在固定管39里。这样，由于第一排 放盘34的上下移动引起可动管38在固定管39内滑动，因而只要确保 设置固定管39所必要的空间就够，而且还不会发生如挠性导管那样的 因弯曲而引起的提前损伤。\n如图6所示，上述交接用滚筒组件30与上述可动式滚筒组件33同 样地设有第二排放盘131。在这第二排放盘131上，在向中心部、朝低 处倾斜的底部中心部位设置着排液管132，在面对着的一对侧壁间空开 一定间隔、能自由旋转地架设着多个滚筒133，使它们的轴线相互平行。 这些滚筒133由图中没表示的驱动源的驱动而旋转。\n这样，由滚筒133的回转驱动把从上述喷淋室24输出到上述交接 用滚筒组件30的滚筒133上的液晶用玻璃基板5交接到可动式滚筒组 件33的滚筒35上。\n与上述可动式滚筒组件33处于上升位置时相对应地、在上述交接 用滚筒组件30和可动式滚筒组件33的排放盘131、34的侧壁上分别设 置着第一防水罩134和第二防水罩135。\n各个防水罩134、135设有垂直部134a、135a和倾斜部134b、135b， 垂直部134a、135a的下端部借助隔板136而安装在上述侧壁的内表面 上。由此，各个防水罩134、135的倾斜部134b、135b从各个排放盘131、 34的侧壁向外突出，而且向各个排放盘131、34的内侧、朝低处倾斜。\n而且，在可动式滚筒组件33上升的状态下，设置在构成液晶用玻 璃基板5的输送方向上游侧的交接滚筒组件30上的第一防水罩134的 倾斜部134b重合地位于设置在可动式滚筒组件33上的第二防水罩135 的上方。\n由此，在喷淋室24中被洗净了的液晶用玻璃基板5从固定式滚筒 组件30交接到可动式滚筒组件33时，从这玻璃基板5滴下的洗净液滴 到各个防水罩134、135的倾斜部134b、135b上，沿着各自的倾斜部流 入到各自的排放盘131、34内。因此能防止从液晶用玻璃基板5滴下的 洗净液散落到周围。\n又因为一对防水罩134、135的倾斜部134b、135b是重合着的，所 以也没有洗净液从各自滚筒组件30、33的间隙滴落的问题。\n此外，即使洗净液临时附着在防水罩134、135的下表面，从倾斜 部134b、135b流向垂直部134a、135a，但由于垂直部134a、135a的下 端是靠隔板136安装在排放盘34、131的侧壁内表面上，因而仍没有沿 着防水罩134、135的下面流动的洗净液滴到排放盘131、34外的问题。\n上述机械手41设置成这样，即，在多个旋转处理装置的侧方、在 本实施例中是在一对旋转处理装置42、43的侧方、在上述紫外线照射 装置15和刷子洗净组件20的下方，即如图5所示地能沿着配置在上述 第四处理组件1d上的一对旋转处理装置42、43并排设置方向、自由移 动地设置在第二处理组件1b上。也就是说，如图3所示，在上述旋转 处理装置42、43的侧方设置着形成导引部的导轨44和作为驱动装置的 线性马达45，线性马达45与上述导轨44空开一定间隔而且相互平行地 隔离。\n在上述导轨44上能自由滑动地设有滑块46，在这滑块46的上面 设置着第一水平构件47。在这第一水平构件47上垂直地设置着第一垂 直构件48。\n上述线性马达45由固定部45a和可动部45b构成，可动部45b能 沿着固定部45a驱动，在这可动部45b上安装着第二水平构件49。在这 第二水平构件49上垂直地设置着第二垂直构件51。\n在上述第一垂直构件48和第二垂直构件51的下端之间水平地架设 着载放板52，在这载放板52上固定地设置着上述机械手41。这个机械 手41设有柱状的本体部41a，这个本体部41a的直径做成比一对垂直构 件48、51的间隔还小。\n上述导轨44和线性马达45的固定部45a分别由罩子53a、53b覆 盖，它们是由耐腐蚀性高的金属或合成树脂等材料构成。\n各个罩子53a、53b做成这样，即，上端固定在能沿着上述机械手 41的行进方向设置的构架54上、中间部分向机械手41侧朝低处倾斜、 而且各自覆盖上述导轨44和线性马达45的固定部45a，下端部插在各 个垂直构件48、51和机械手41之间。\n在上述一对罩子53a、53b的下端侧、沿着上述机械手41的行进范 围的整个长度设置着由耐腐蚀性高的材料构成的第三排放盘55。如下所 述，这个第三排放盘55能集积从上述机械手41滴到罩子53a、53b上 的洗净液。\n上述机械手41是如图4所示的双臂式机械手，在其本体部41a内 设置着图中没表示的驱动源。在上述本体部41a的上面设置着第一臂 56和第二臂57。第一臂56由第一连杆56a和第二连杆56b构成；第 二臂57由第三连杆57a和第四连杆57b构成；第一连杆56a和第三连 杆57a的一端与上述驱动源的驱动轴相连接。\n在第一连杆56a的另一端上连接着第二连杆56b的一端，使其能 与第一连杆的转动而相互联动地转动。而且在第三连杆57a的另一端上 连接着第四连杆57b的一端，使其能与第三连杆的转动而相互联动地 转动。在第二连杆56b和第四连杆57b的另一端上分别连接着第一定 位调节件56c和第二定位调节件57c的一端，使它们能与第二连杆56b 和第四连杆57b的转动而相互联动地进行直线运动(伸缩运动)。\n这样，一对第一、第二臂56、57由第一连杆56a和第三连杆57a 的转动而分别使第二连杆56b和第四连杆57b、第一定位调节件56c和 第二定位调节件57c联动地进行伸缩运动。而且使第一、第二臂56、 57改变伸缩的方向、被上下地驱动。图4表示使第一臂56缩短、使第 二臂57伸长的状态。\n为了防止在使一对臂56、57缩短时，第一连杆56a和第三连杆57a 以及第一定位调节件56c和第二定位调节件57c相互干涉，将它们的高 度分别设置的不同。在本实施例中把第二臂57设置成比第一臂56低。\n第一臂56是专用于输送处于干燥状态下的液晶用玻璃基板5，第 二臂57是专用于输送处于湿状态下的液晶用玻璃基板5。\n在各个臂56、57的第一定位调节件56c和第二定位调节件57c上 设置着多个保持构件61，用来对规定尺寸的液晶用玻璃基板5进行定 位并将其保持住。在第二臂57的第二定位调节件57c的基端部上面设 置着一对喷嘴62。从各个喷嘴62喷射纯水等液体，以防止被保持在第 二定位调节件57c上的液晶用玻璃基板5的干燥。\n也就是说，由刷子洗净组件20洗净后、交给第二交接机构31的 处于湿状态的液晶用玻璃基板5由第二臂57的第二定位调节件57c接 受。接着将这液晶用玻璃基板5供到第一或第二旋转处理装置42、43。 这时，由于各个旋转处理装置42、43是成批处理的，因而在供给处于 湿状态的液晶用玻璃基板5时，必须按规定时间进行待机。在待机过 程中从上述喷嘴62向液晶用玻璃基板5喷射纯水。由于采取这措施后 能防止在湿状态的液晶用玻璃基板5的干燥，因而能防止由干燥形成 的沾染等。\n一对旋转处理装置42、43对液晶用玻璃基板5进行同样的处理。 即，将液晶用玻璃基板5保持后使其高速旋转，而且从药液供给喷嘴 65将施加了超声波振动的药液供到上述玻璃基板的上表面上，进行药 液洗净后，从纯水供给喷嘴66供给纯水进行洗刷清洗。接着，停止供 给药液或纯水，使其进行高速旋转的同时进行干燥处理。\n上述紫外线照射装置15和刷子洗净组件20是对液晶用玻璃基板5 连续地进行处理的。与此相对、由旋转处理装置42、43进行的液晶用 玻璃基板5的处理则是成批的，因此液晶用玻璃基板5的流动是不连 续的，使间歇时间加长。\n但是，如上所述，将处理液晶用玻璃基板5的多个旋转处理装置 42、43并排地设置，将刷子洗净组件20输出的液晶用玻璃基板5交替 地供给这些旋转处理装置。这样，与用一个旋转处理装置依次处理一 片液晶用玻璃基板5的场合相比，能使整个洗净处理装置1的间歇时 间缩短。\n由各个旋转处理装置42、43干燥处理过的处于干燥状态的液晶用 玻璃基板5，由机械手41的第一臂56的第一定位调节件56c取出，并 向第五处理组件1e输送。\n由上述机械手41作出的液晶用玻璃基板5相对于各个旋转处理装 置42、43的装卸作业，如图1和图5所示，是借助将第二处理组件1b 和第四处理组件1d连通的开口部63而进行的。这个开口部63也可由 图中没表示的电路开关加以开关控制。\n上述机械手41是用第二臂57交接处于湿状态的液晶用玻璃基板 5；在洗净处理完后用第一臂56交接处于干燥状态的液晶用玻璃基板 5。这样，由于在第一臂56的第一定位调节件56c上处于湿状态下的液 晶用玻璃基板5不会附着污染物，因而由上述第一定位调节件56c交换 的处于清洁状态的液晶用玻璃基板5不会受到由机械手41的交接而引 起的污损。\n又因为第一臂56位于第二臂57的上方，所以从被保持在第二臂 57的第二定位调节件57c上的处于湿状态下的液晶用玻璃基板5滴下 的洗净液等不会污染第一臂56的第一定位调节件56c或被保持在这里 的液晶用玻璃基板5。\n在上述机械手41的第二臂57把处于湿状态下的液晶用玻璃基板5 供给一对旋转处理装置42、43中的任意一方时，由线性马达45驱动 这个机械手41，使其沿导轨44行进。这时洗净液从处于湿状态下的液 晶用玻璃基板5滴到一对罩子53a、53b的中间部上面。\n由于上述罩子53a、53b的中间部是向机械手41而朝低处倾斜的， 因而滴到罩子53a、53b的中间部上的洗净液如图3所示，从这中间部， 经下端部而集积到第三排放盘55上。\n即，由此能防止如下所述的事故，也即，可防止从处于湿状态下 的液晶用玻璃基板5滴下的洗净液滴到对机械手41的行进加以导引的 导轨44上，使这导轨44提前腐蚀，或者滴到线性马达45上，使其受 到损伤。\n如图1所示，上述第五处理组件1e设有输出部71，它由多个滚筒 构成。在这输出部71的一端能上下移动地设置着接受液晶用玻璃基板 5的推进装置72，上述玻璃基板5是被保持在上述机械手41的第一臂 56的第一定位调节件56c上的。\n上述推进装置72一上升并从第一定位调节件56c接受液晶用玻璃 基板5，就下降并将上述液晶用玻璃基板5交给上述输出部71。在输 出部71的另一端配设着卸料部73，经输出部71输送来的液晶用玻璃 基板5被层叠地收容在这卸料部73里。在洗净装置1中的液晶用玻璃 基板5的流动如图1中由箭头所示。\n上述洗净处理装置1是设置在清洗室里的，而且如图5所示，在 各个处理组件1a～1e的上部外面都设有清洗组件75。这些清洗组件75 是把清洗室内的空气净化后导入到各个处理组件1a～1e的。\n在上述第二处理组件1b中，在刷子洗净组件20的下方配置着上 述机械手41。因此，从第二处理组件1b的上部的清洗组件75供给的 净化空气被刷子洗净组件20遮挡，也就难维持上述的被保持在机械手 41上的液晶用玻璃基板5的洁净度。    \n为此在与上述第二处理组件1b并排设置的第四处理组件1d的上 部设置了第一导引件76，用来把清洗组件75输出的净化空气分流一部 分。如图5中的箭头所示，由第一导引件76分流的净化空气被导引到 通孔77，它是将上述第四处理组件1d和第二处理组件1b连通的。\n在第二处理组件1b上设置着第二导引件78，把从上述通孔77流 入的净化空气朝下方导引。由此使这净化空气流向机械手41，因而能 维持被保持在上述机械手41上的液晶用玻璃基板5的洁净度。\n若采用具有上述结构的洗净处理装置1，则把用于处理液晶用玻 璃基板5的作为处理部的紫外线照射装置15和刷子洗净组件20配置 在上段，在它们的下段配置同样作为处理部的机械手41。\n因此，与把机械手41相对于紫外线照射装置15和刷子洗净组件 20沿横向并列设置的场合相比，能把整个洗净处理装置1的宽度尺寸 减小，从而减少了其在清洗室里所占的空间。\n液晶用玻璃基板5的输送方向在配置紫外线照射装置15和刷子洗 净组件20的上段、与配置机械手41的下段交换成相反方向。因此， 与不变换液晶用玻璃基板5的输送方向的场合相比，能缩短装置的全 长，从而能由此缩小清洗室占有的空间。\n由于把上述紫外线照射装置15、刷子洗净组件20和机械手41配 置成上下二段，而且在上段的紫外线照射装置15的入口侧设置第一交 接机构6，在刷子洗净组件20的出口侧设置第二交接机构31。因此， 即使把多个处理部配置成上下二段，仍能确实地进行从液晶用玻璃基 板5的装料部4向紫外线照射装置15的交接或从刷子洗净组件20向 机械手41的交接。\n由于把紫外线照射装置15和刷子洗净组件20配置在上段，将机 械手41配置在下段，因而从第二处理组件1b的上部开始的向下气流 被上段处理部遮断。\n但是，由于与上述第二处理组件1b并排地设置第四处理组件1d， 从第四处理组件1d的向下气流被第一导引件76分流一部分，使其通 过连通第二、第四处理组件1b、1d的通孔77而被第二导引件78导向 机械手41。\n因此，被保持在机械手41上的洗净处理后的液晶用玻璃基板5能 由与第二处理组件1b相邻接的第四处理组件1d输出的净化空气维持 其洁净度。也即，即使把多个处理部配置成上下二段，被配置在下段 上的处理部的洁净度仍能由清理组件75输出的净化空气确实地保持 住。\n工业上利用的可能性\n本发明并不局限于上述实施例，它可以有各种变型。虽然在上述 实施例中把洗净处理装置作为处理装置加以说明，但即使是进行这以 外的处理，只要是设有多个处理部的，都能利用本发明。\n譬如，即使是设有这样处理部的处理装置仍能用本发明，即这些 处理部是为了在作为被处理物的半导体晶片或液晶用玻璃基板上形成 回路而进行的显像处理、磨边处理、薄膜形成处理等，需要注意的是 处理部的种类或组合、而且被处理物的种类等也没有限定。\n在上述这个实施例中，被收容在装料部里的被处理物由第一交接 机构供给上段的处理部，由上段的最后处理部处理过的被处理物由第 二交接机构交给下段的处理部，但也可根据处理部的配置状态，用第 一交接机构将装料部的被处理物交给下段的处理部；用第二交接机构 把由下段的处理部处理过的被处理物交给上段的处理部。在这种场合 下，如果装料部与下段的处理部是相同的高度，则只要把第一交接机 构做成能自由地上下移动的结构就可以。\n虽然在上述实施例中是把多个旋转处理装置配置在1个处理组件 里，但也可将它们分别配置在各个处理组件里，这可根据处理部的大 小和处理组件的大小而变更设计。\n虽然在上述实施例中是把紫外线照射装置和刷子洗净组件配置在 上方，将机械手配置在上述组件的下方，旋转处理装置配置在上述机 械手的侧方，在上述紫外线照射装置和刷子洗净组件的斜下方，但也 可把上述机械手和旋转处理装置配置在上述紫外线照射装置和刷子洗 净组件的正下方。在这种场合下可把装料部和卸料部沿上下方向配 置。