聚合物、光敏性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、电子部件

发明专利有效专利

申请号：
CN202011486388.2
IPC分类号：C08G73/10;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/038
申请日期：
2020-12-16
申请人：
信越化学工业株式会社;国际商业机器公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	聚合物、光敏性树脂组合物、图案形成方法、固化膜、电子部件
申请号	CN202011486388.2	申请日期	2020-12-16
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-10-22	公开/公告号	CN113527680A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C08G73/10 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C08 有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物 C08G 用碳-碳不饱和键以外的反应得到的高分子化合物（发酵或使用酶的方法合成目标化合物或组合物或从外消旋混合物中分离旋光异构体入C12P）〔2〕 C08G73/00 不包括在C08G 12/00到C08G 71/00组内的，在高分子主链中形成含氮的键合，有或没有氧或碳键合反应得到的高分子化合物〔2〕 C08G73/06 在高分子主链中有含氮杂环的缩聚物；聚酰肼；聚酰胺酸或类似的聚酰亚胺母体〔2〕 C08G73/10 聚酰亚胺；聚酯-酰亚胺；聚酰胺-酰亚胺；聚酰胺酸或类似的聚酰亚胺的母体〔2〕	IPC分类号	C;0;8;G;7;3;/;1;0;;;G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;G;0;3;F;7;/;0;3;9;;;G;0;3;F;7;/;0;3;8查看分类表>
申请人	信越化学工业株式会社;国际商业机器公司	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	信越化学工业株式会社,国际商业机器公司	当前权利人	信越化学工业株式会社,国际商业机器公司
发明人	德米特里·祖巴列夫;浦野宏之;竹村胜也;饭尾匡史;本田和也;河合义夫
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司	代理人	张晶;谢顺星

摘要

本发明的技术问题在于提供一种聚合物，该聚合物能够用作可溶于碱性水溶液、可形成微细图案、可获得高分辨率，并且即使在低温下进行固化时机械特性仍良好的正型光敏性树脂组合物及负型光敏性树脂组合物的基础树脂。此外，还提供使用了所述聚合物的正型光敏性树脂组合物及负型光敏性树脂组合物。所述聚合物的特征在于，含有下述通式(1)和/或(2)表示的结构单元。式中，T1、T2任选彼此相同或不同，表示‑CO‑、‑SO2‑中的任意一种，X1为4价有机基团，l为0或1。式中，T1、T2、l与所述T1、T2、l相同，X2为2价有机基团。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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