一种新型硅片边缘抛光机

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023308643.2
IPC分类号：B24B9/06;B24B47/12;B24B57/02
申请日期：
2020-12-30
申请人：
苏州博宏源机械制造有限公司

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著录项信息

专利名称	一种新型硅片边缘抛光机
申请号	CN202023308643.2	申请日期	2020-12-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B9/06 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B9/00 适用于磨削工件边缘或斜面或去毛刺的机床或装置；其附件（B24B 21/00优先；用于刃磨刀具切削刃的入B24B 3/00；用散粒磨料去毛刺入B24B 31/00） B24B9/02 以被磨制品材料性质为特征专门设计的 B24B9/06 非金属无机材料的，如石头，陶瓷制品，瓷器	IPC分类号	B;2;4;B;9;/;0;6;;;B;2;4;B;4;7;/;1;2;;;B;2;4;B;5;7;/;0;2查看分类表>
申请人	苏州博宏源机械制造有限公司	申请人地址	江苏省苏州市相城区渭塘镇爱格豪路22号一层东车间变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州博宏源机械制造有限公司	当前权利人	苏州博宏源机械制造有限公司
发明人	任明元;梁春;张稳焕
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种新型硅片边缘抛光机，涉及硅片抛光技术领域包括机架、磨头组件和旋转台，机架的内部底端设置有接液盆，接液盆的上端中央设置有旋转台，旋转台的顶端表面吸附有硅片，旋转台远离硅片的一端设置有供液接口，所述机架的中部远离旋转台的一侧设置有摆臂，所述机架的上端设置有磨头组件。本实用新型通过设置的升降电机和旋转电机不紧使磨头在加工时除了做旋转运动外，还进行上下运动，避免磨头同一位置工作，从而延长磨头抛光皮的使用寿命；同时将磨头组件采用柔性气缸平移，通气缸移动并固定磨头使磨头的压力保持一致，可调控压力大小，在一定范围内适用不同直径的硅片加工，加工范围更广，提高了磨头的使用局限性。

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该专利没有引用任何外部专利数据！

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