稀土改性碳纳米管硅太阳能电池的制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210045876.9
IPC分类号：H01L31/18;C23C16/44;C23C16/34
申请日期：
2012-02-27
申请人：
浙江启鑫新能源科技股份有限公司

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专利名称	稀土改性碳纳米管硅太阳能电池的制备方法
申请号	CN201210045876.9	申请日期	2012-02-27
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-11	公开/公告号	CN103296127A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4;;;C;2;3;C;1;6;/;3;4查看分类表>
申请人	浙江启鑫新能源科技股份有限公司	申请人地址	浙江省宁波市象山县滨海工业园区金港路37号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江启鑫新能源科技股份有限公司	当前权利人	浙江启鑫新能源科技股份有限公司
发明人	梁海;程先华;孙洪涛;王传英;宋宇;雷子恒
代理机构	上海旭诚知识产权代理有限公司	代理人	郑立

摘要

本发明公开了一种稀土改性碳纳米管晶硅太阳能电池的制备方法，该方法包括如下步骤：首先，对制好PN结的硅片进行表面羟基化处理，再浸入配制好的氨基硅烷溶液中，在基片表面组装氨基硅烷薄膜；其次，置入三氯氧化磷溶液中，在薄膜表面组装上磷酸基团；然后，将基片置入经稀土改性后的碳纳米管悬浮液，取出后清洗干净，烘干，得到表面沉积有稀土改性碳纳米管复合薄膜的硅片。利用PECVD技术在表面制作一层氮化硅减反射膜，然后印刷正、负电极，制成所述太阳能电池。本发明工艺简单、成本低，适合工业大规模生产，对环境无污染，同时，能很好的改善碳纳米管分散性以及与硅基体的界面结合力，制得高光电转化效率的硅太阳能电池。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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