区熔热场线圈监测台

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201320532595.6
IPC分类号：G01M3/26;G01C9/00;G01B21/00
申请日期：
2013-08-30
申请人：
天津市环欧半导体材料技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	区熔热场线圈监测台
申请号	CN201320532595.6	申请日期	2013-08-30
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M3/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M3/00 结构部件的流体密封性的测试 G01M3/02 应用流体或真空 G01M3/26 通过测量流体的增减速率，例如，用压力响应装置，用流量计〔2〕	IPC分类号	G;0;1;M;3;/;2;6;;;G;0;1;C;9;/;0;0;;;G;0;1;B;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	天津市环欧半导体材料技术有限公司	申请人地址	江苏省无锡市宜兴经济技术开发区东氿大道变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中环领先半导体材料有限公司,天津中环领先材料技术有限公司	当前权利人	中环领先半导体材料有限公司,天津中环领先材料技术有限公司
发明人	靳立辉;姚长娟;闫耀东;卢君;刘旭光;于书翰;王国瑞;贾弘源;张磊
代理机构	天津中环专利商标代理有限公司	代理人	胡京生

摘要

本实用新型涉及一种对区熔热场线圈进行压力、水平、平整度对中等重要参数进行检测的区熔热场线圈监测台。包括检测台底座、监测台面、进水管、检测台水平调整螺丝，检测台底座及监测台面均为矩形板状，监测台面垂直的固定在检测台底座面上，在检测台底座面上设有三个检测台水平调整螺丝，在监测台面上设有数组定位螺丝孔和进水孔，数个进水管在监测台面一侧分别与数组中的进水孔螺接在一起。效果是：本实用新型是对模拟线圈在区熔热场炉拉制单晶之前的安装校准，并对其进行严格的检测，避免了在使用过程中漏水、倾斜、安装偏心等问题。节省了安装工时。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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