一种可使样品自动旋转的腐蚀装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02261149.5
IPC分类号：--
申请日期：
2002-10-31
申请人：
中国科学院上海技术物理研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种可使样品自动旋转的腐蚀装置
申请号	CN02261149.5	申请日期	2002-10-31
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院上海技术物理研究所	申请人地址	上海市玉田路500号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院上海技术物理研究所	当前权利人	中国科学院上海技术物理研究所
发明人	朱建妹;胡晓宁;叶振华;王正官
代理机构	上海智信专利代理有限公司	代理人	郭英

摘要

一种可使样品自动旋转的腐蚀装置，包括：磁力搅拌器，磁力搅拌器上置有耐腐蚀的容器，容器内底部置有磁子，容器内灌有腐蚀液，腐蚀液中放有可使样品自动旋转的样品架。所说的样品架的轴外圆上套有带四片均布叶片的轴套，样品盘背面中心孔与轴套尾端外圆紧配，样品盘平面处粘贴有样品。当磁力搅拌器带动容器内磁子作正反向旋转时，使腐蚀液作双向流动从而带动装有样品的样品盘一起转动，使样品腐蚀反应生成物快速离开样品沟槽，保证了沟槽内壁的均匀腐蚀。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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