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具有除静电装置的晶圆输送机构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202221791296.X
  • IPC分类号:H01L21/677;H05F3/06
  • 申请日期:
    2022-07-13
  • 申请人:
    常州铭赛机器人科技股份有限公司
著录项信息
专利名称具有除静电装置的晶圆输送机构
申请号CN202221791296.X申请日期2022-07-13
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/677IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;5;F;3;/;0;6查看分类表>
申请人常州铭赛机器人科技股份有限公司申请人地址
江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城铭赛科技大厦 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人常州铭赛机器人科技股份有限公司当前权利人常州铭赛机器人科技股份有限公司
发明人周典虬;林翔;郜福亮;苗虎;杨军福
代理机构常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)代理人朱丽莎
摘要
本实用新型公开了一种具有除静电装置的晶圆输送机构。这种具有除静电装置的晶圆输送机构中,除静电装置安装于位于晶圆输送机构的进料口以及晶圆输送机构与各加工工位的连接处;所述具有除静电装置的晶圆输送机构包括安装底座,固定在具有除静电装置的晶圆输送机构内腔;静电消除器,所述静电消散装置可活动地设于安装底座上且位于晶圆的上方,以对晶圆进行静电去除处理。本实用新型结构简单,除静电装置,提高了晶圆除静电性能,除静电完成后,便于晶圆后续加工,提高晶圆的点胶质量。

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