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脆性材料基板的分断方法以及采用该方法的分断装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN03807702.7
  • IPC分类号:C03B33/023;B28D5/00;H01L21/301
  • 申请日期:
    2003-04-01
  • 申请人:
    三星钻石工业股份有限公司
著录项信息
专利名称脆性材料基板的分断方法以及采用该方法的分断装置
申请号CN03807702.7申请日期2003-04-01
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2005-07-27公开/公告号CN1646282
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03B33/023IPC分类号C;0;3;B;3;3;/;0;2;3;;;B;2;8;D;5;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;1查看分类表>
申请人三星钻石工业股份有限公司申请人地址
日本大阪府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星钻石工业股份有限公司当前权利人三星钻石工业股份有限公司
发明人前川和哉;曾山浩
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人张天安;杨松龄
摘要
具备在脆性材料基板的至少一个基板表面上实施了膜的状态下进行划线的划线工序以及进行该划线工序的第1划线装置。有效地除去分断基板时产生的碎玻璃,同时形成深达基板的内部的垂直裂纹,能够进行沿着划痕线的精确的分断。

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