剥离抗蚀剂、BARC和填隙材料的化学制剂及方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200480040608.1
IPC分类号：C11D1/00
申请日期：
2004-12-01
申请人：
高级技术材料公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	剥离抗蚀剂、BARC和填隙材料的化学制剂及方法
申请号	CN200480040608.1	申请日期	2004-12-01
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2007-03-28	公开/公告号	CN1938412
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C11D1/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C11 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡；由此制取的脂肪酸；洗涤剂；蜡烛 C11D 洗涤剂组合物；用单一物质作为洗涤剂；皂或制皂；树脂皂；甘油的回收 C11D1/00 主要以表面活性化合物为基料的洗涤组合物；使用这些化合物作为洗涤剂	IPC分类号	C;1;1;D;1;/;0;0查看分类表>
申请人	高级技术材料公司	申请人地址	美国康涅狄格州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	高级技术材料公司	当前权利人	高级技术材料公司
发明人	戴维·伯恩哈德;藤田阳一郎;宫泽知江;中岛诚
代理机构	中原信达知识产权代理有限责任公司	代理人	王海川;樊卫民

摘要

本发明公开了水基组合物和从其上具有光致抗蚀剂、底部抗反射涂层(BARC)材料和/或填隙材料的基片除去上述物质的方法。该水基组合物包括氟化物源、至少一种有机胺、至少一种有机溶剂、水和任选的螯合剂和/或表面活性剂。在集成电路的制造中，该组合物实现了对上述物质的高效去除，而对基片上的金属例如铜无不利作用，且不会损害半导体结构中所采用的SiOC基介电材料。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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