加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

太阳能硅片扩散用石英舟

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201521039636.3
  • IPC分类号:H01L31/18;H01L21/673
  • 申请日期:
    2015-12-10
  • 申请人:
    杭州力云科技有限公司
著录项信息
专利名称太阳能硅片扩散用石英舟
申请号CN201521039636.3申请日期2015-12-10
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人杭州力云科技有限公司申请人地址
浙江省杭州市滨江区江南大道3786号亚琪科技大楼1幢第九层1914室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人杭州力云科技有限公司当前权利人杭州力云科技有限公司
发明人王鸳君;韩伟智;刘春丽;张红伟;胡香玲;郭天华
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种能够有效提高扩散均匀性,同时提高单炉产量的太阳能硅片扩散用石英舟,其包括两个支撑板和多个中空石英管,多个石英管在两个支撑板之间形成容置硅片的支架区,且至少一个支撑板上开有与各个石英管贯通的通孔;石英管上均布开有多个刻槽,硅片放置在石英管同一竖直平面的刻槽中;位于相邻刻槽之间或硅片之间开有至少一个散气孔,且其与中空石英管贯通。采用本实用新型的石英舟,扩散源由炉尾的进气口进入扩散炉后,经石英舟上的中空石英管,并从石英管上的散气孔均匀地喷向硅片之间的间隙,显著提高扩散均匀性的同时,也能够快速将扩散源从炉尾传输到炉口,还进一步增加传输距离,从而提高单炉扩散的产量、降低生产成本。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供