加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

环境场溅射源

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201580020624.2
  • IPC分类号:C23C14/34
  • 申请日期:
    2015-04-20
  • 申请人:
    库尔特J·莱斯克公司
著录项信息
专利名称环境场溅射源
申请号CN201580020624.2申请日期2015-04-20
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-12-14公开/公告号CN106232861A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/34IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人库尔特J·莱斯克公司申请人地址
美国宾夕法尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人库尔特J·莱斯克公司当前权利人库尔特J·莱斯克公司
发明人马修·杰斯卡;罗伯特·M·贝兰;库尔特·约翰·莱斯克III
代理机构北京中誉威圣知识产权代理有限公司代理人陈变花;席勇
摘要
本发明公开了一种溅射阴极,其包括磁铁,该磁铁具有长度为L1的本体,该本体的第一端限定了北极,并且该本体的第二端限定了南极,所述第二端与所述第一端相对。长度为L2的溅射靶材,该溅射靶材环绕该磁铁的本体,但并不环绕该磁铁的端部。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供