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一种纳米弧源推进装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202020182350.5
  • IPC分类号:C23C14/32
  • 申请日期:
    2020-02-18
  • 申请人:
    超微中程纳米科技(苏州)有限公司
著录项信息
专利名称一种纳米弧源推进装置
申请号CN202020182350.5申请日期2020-02-18
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/32IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;2查看分类表>
申请人超微中程纳米科技(苏州)有限公司申请人地址
江苏省苏州市工业园区兴浦路333号现代工业坊4号厂房2楼E单元 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人超微中程纳米科技(苏州)有限公司当前权利人超微中程纳米科技(苏州)有限公司
发明人张建坡
代理机构苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)代理人张荣
摘要
本实用新型公开了一种纳米弧源推进装置,包括安装基体,所述安装基体内设置有磁场源、阴极体和推进装置,所述阴极体包括带有作为阴极的靶材和用于固定靶材的靶材安装座,所述靶材安装座的两侧设置有滑轨,所述安装基体的内壁上设置有供所述滑轨滑动的凹槽,所述推进装置设置所述阴极体的一侧,所述推进装置推动所述阴极体在安装基体的凹槽内滑动。本实用新型的纳米弧源推进装置,通过设置推进装置带动靶材移动,改变靶材端面在磁场源内的相对位置,保证在电镀的过程中,靶材消耗后,靶材端面相对于磁场源的位置不发生改变,保证电镀效果的一致性。

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