高精度大孔径移相式数字平面干涉仪

发明专利无效专利

申请号：
CN93111560.4
IPC分类号：--
申请日期：
1993-06-26
申请人：
南京理工大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	高精度大孔径移相式数字平面干涉仪
申请号	CN93111560.4	申请日期	1993-06-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	1994-12-28	公开/公告号	CN1096873
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	南京理工大学	申请人地址	江苏省南京市孝陵卫200号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京理工大学	当前权利人	南京理工大学
发明人	陈进榜;宋德真;朱日宏;陈道炯;王青;陈磊;唐文达;何勇;贡元庆;李顺义;金国佑;余益吾
代理机构	南京理工大学专利事务所	代理人	张骏鸣

摘要

本发明公开了一种高精度大孔径移相式数字平面干涉仪，它主要由立式菲索干涉仪、扩展装置、移相器及驱动源、控制源、图像采集系统和微机等组成。其优点是仪器的有效检测孔径为Φ245mm，准确度为λ/50(峰-谷值)，系统光学质量为λ/20，扩展孔径达到Φ500mm，准确度为λ/20。本仪器可自动校正移相器的非线性位移误差，并采用带阻尼扳的液面作为校正仪器系统误差的基准平面，使仪器检测精度得到提高，特别适用于大口径光学平面玻璃的检测。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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