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一种蓝宝石磁流变化学机械抛光液的制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201910986790.8
  • IPC分类号:C09G1/02
  • 申请日期:
    2019-10-17
  • 申请人:
    江苏吉星新材料有限公司
著录项信息
专利名称一种蓝宝石磁流变化学机械抛光液的制备方法
申请号CN201910986790.8申请日期2019-10-17
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2020-01-24公开/公告号CN110724459A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C09G1/02IPC分类号C;0;9;G;1;/;0;2查看分类表>
申请人江苏吉星新材料有限公司申请人地址
江苏省镇江市扬中市油坊新材料工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏吉星新材料有限公司当前权利人江苏吉星新材料有限公司
发明人陆昌程;杨华;秦光临
代理机构南京经纬专利商标代理有限公司代理人唐循文
摘要
一种蓝宝石磁流变化学机械抛光液的制备方法,属于蓝宝石表面处理技术领域。所述方法步骤如下:室温下,将异丙醇铝加入甲苯和二氧六环中溶解后,加入去离子水,然后再超声分散,得到Al2O3溶胶;向Al2O3溶胶边搅拌边加入乙二胺调节pH至碱性,然后加入碱性有机硅溶胶,电磁搅拌得到搅拌后混合液;搅拌后混合液中加入表面活性剂、氧化剂、分散剂和去离子水,电磁搅拌即可。本发明所述方法通过将Al2O3溶胶和有机硅溶胶结合,在碱性环境下,与表面活性剂、氧化剂、分散剂和水经过电磁搅拌,起到协同增效的作用,制备的抛光液能够在保持材料高去除率的同时,避免对材料的深度磨损,降低了材料抛光后表面粗糙度,并且易于清洗。

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