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真空泵

实用新型无效专利

申请号：
CN200920078047.4
IPC分类号：F04C25/02F04C29/04F04C28/00
申请日期：
2009-07-09
申请人：
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	真空泵
申请号	CN200920078047.4	申请日期	2009-07-09
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F04C25/02 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F0 发动机或泵 F04 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵 F04C 旋转活塞或摆动活塞的液体变容式机械（液体驱动的发动机入F03C）；旋转活塞或摆动活塞的变容式泵（发动机燃料喷射泵入F02M） F04C25/00 适于特殊用途的弹性流体泵 F04C25/02 用于产生高真空（密封装置入F04C 27/00；消音入F04C 29/06）	IPC分类号	F04C25/02;F04C29/04;F04C28/00查看分类表>
申请人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司	申请人地址	变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司	当前权利人	中芯国际集成电路制造（上海）有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人	王刚
代理机构	上海思微知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	屈蘅;李时云

摘要

本实用新型的真空泵包括腔壳和设置在腔壳外壁上的保温装置，该保温装置可以是设置在腔壳外壁上的加热管，也可以是设置在腔壳外壁上的保温带。本实用新型的真空泵在任何时候都能重启，保证了机台正常运行。

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