一种聚二甲基硅氧烷弹性体选区皱纹化的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110415841.5
IPC分类号：B81C1/00
申请日期：
2011-12-14
申请人：
天津大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种聚二甲基硅氧烷弹性体选区皱纹化的方法
申请号	CN201110415841.5	申请日期	2011-12-14
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-06-13	公开/公告号	CN102491254A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B81C1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B8 微观结构技术；纳米技术 B81 微观结构技术〔7〕 B81C 专门适用于制造或处理微观结构装置或系统的方法或设备（制造微胶囊或微球入B01J13/02；专门适用于制造或处理压电器件、电致伸缩器件或磁致伸缩器件的方法或设备本身入H01L41/22）〔7〕 B81C1/00 在基片内或其上制造或处理的装置或系统（B81C 3/00优先）〔7〕	IPC分类号	B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	天津大学	申请人地址	天津市南开区卫津路92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	天津大学	当前权利人	天津大学
发明人	鲁从华;杨扬
代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所	代理人	王秀奎

摘要

本发明公开了一种聚二甲基硅氧烷弹性体表面硬质薄膜层制备及其选区皱纹化的工艺制备方法，利用PDMS为膜材，通过不同规格铜网的覆盖选择性等离子体曝光，使得在PDMS表面处理层变为SiOx硬质层，在外界刺激下，形成选区皱纹。本发明的方法具有快速，简单的特点，避免了使用昂贵的仪器、复杂的工艺条件和苛刻的实验参数，精细调控了PDMS弹性体表面的微结构形貌。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供