四输入微机械悬臂梁热电式微波功率传感器及制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110229462.7
IPC分类号：G01R21/02;B81B7/00;B81C1/00
申请日期：
2011-08-11
申请人：
东南大学

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著录项信息

专利名称	四输入微机械悬臂梁热电式微波功率传感器及制备方法
申请号	CN201110229462.7	申请日期	2011-08-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-08-22	公开/公告号	CN102645579A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R21/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R21/00 电功率、功率因数的测量装置（G01R 7/12优先）〔4〕 G01R21/02 用热方法〔2〕	IPC分类号	G;0;1;R;2;1;/;0;2;;;B;8;1;B;7;/;0;0;;;B;8;1;C;1;/;0;0查看分类表>
申请人	东南大学	申请人地址	江苏省南京市四牌楼2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东南大学	当前权利人	东南大学
发明人	廖小平;张志强
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	张惠忠

摘要

本发明的四输入微机械悬臂梁热电式微波功率传感器，实现了四输入微波功率的测量，同时也能够检测其中哪些输入了微波功率及其微波功率大小的比例。该结构在砷化镓衬底上将四个主线CPW对称放置，它们彼此相互之间呈90o的角，在每个主线CPW的输出端并联两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这四对热电偶相互之间同样呈90o的角放置并串联连接形成热电堆；在每个主线CPW信号线上横跨一个MEMS悬臂梁，其悬臂梁相互之间也呈90o的角，在悬臂梁下方有绝缘介质层，MEMS悬臂梁的一端未被固体而另一端固定在锚区上，其锚区与副线CPW信号线相连接，在副线CPW地线上有一个隔直电容，在每个副线CPW输出端并联两个100Ω的热电偶。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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