一种新型自动化旋涂加热设备

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922287181.1
IPC分类号：B05C15/00;B05C9/14;B05C11/10;B05C13/02
申请日期：
2019-12-19
申请人：
苏州天仁微纳智能科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种新型自动化旋涂加热设备
申请号	CN201922287181.1	申请日期	2019-12-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C15/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C15/00 设备的屏蔽；室（喷雾室入 B05B16/00）〔4，2006.01〕	IPC分类号	B;0;5;C;1;5;/;0;0;;;B;0;5;C;9;/;1;4;;;B;0;5;C;1;1;/;1;0;;;B;0;5;C;1;3;/;0;2查看分类表>
申请人	苏州天仁微纳智能科技有限公司	申请人地址	江苏省苏州市常熟经济技术开发区四海路11号科创园1号楼311室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州天仁微纳智能科技有限公司	当前权利人	苏州天仁微纳智能科技有限公司
发明人	冀然
代理机构	北京科家知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	陈娟

摘要

本实用新型提出一种新型自动化旋涂加热设备，包括：外壳，所述外壳内设置有容纳槽；真空装置，包括真空泵，以及真空吸盘；旋涂装置，可驱动所述真空吸盘旋转；防护装置，包括侧板，还包括盖板；滴胶装置，所述滴胶装置具有胶嘴，所述胶嘴可相对于所述涂胶口转动；胶液回收装置，包括回收孔，以及回收桶；加热装置，位于真空装置一侧与容纳槽的槽底连接；升降装置，位于加热装置上；加热防护装置，包括防护套，还包括防护盖板；基片转移装置，用于将旋涂胶液后的基片移动从所述真空吸盘上卡取并移送至所述升降装置上；控制器。本实用新型旋涂均匀，效率高，能够避免基片污染，基片易取放，且胶液能得到有效回收。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供