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气体传感器和气体检测方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710866292.0
  • IPC分类号:G01N27/00
  • 申请日期:
    2017-09-22
  • 申请人:
    太阳诱电株式会社
著录项信息
专利名称气体传感器和气体检测方法
申请号CN201710866292.0申请日期2017-09-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-04-03公开/公告号CN107870183A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N27/00IPC分类号G;0;1;N;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人太阳诱电株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人太阳诱电株式会社当前权利人太阳诱电株式会社
发明人下舞贤一;服部将志;尾下顺二
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人龙淳;季向冈
摘要
本发明提供一种高精度地进行气体检测的气体传感器。气体传感器包括:第1检测元件、第2检测元件、第3检测元件和运算部。上述第1检测元件因特定气体的吸附而发生共振频率变化,包括具有规定结构的第1振子和设置在上述第1振子上的吸附上述气体的第1吸附膜。上述第2检测元件因上述气体的水分而发生共振频率变化,包括具有上述规定结构的第2振子和设置在上述第2振子上的吸附上述水分的第2吸附膜。上述第3检测元件包括具有上述规定结构的第3振子,因上述气体的温度而发生共振频率变化。上述运算部,基于上述第2检测元件的共振频率变化和上述第3检测元件的共振频率变化对上述第1检测元件的共振频率变化进行修正。

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