一种去除塑封模具中模盒型腔残留物的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010732992.2
IPC分类号：B29C33/72;H01L21/56
申请日期：
2020-07-27
申请人：
西安微电子技术研究所

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著录项信息

专利名称	一种去除塑封模具中模盒型腔残留物的方法
申请号	CN202010732992.2	申请日期	2020-07-27
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-11-13	公开/公告号	CN111923293A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B29C33/72 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B29 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工 B29C 塑料的成型或连接；塑性状态材料的成型，不包含在其他类目中的；已成型产品的后处理，例如修整（制作预型件入B29B 11/00；通过将原本不相连接的层结合成为各层连在一起的产品来制造层状产品入B32B 7/00至B32B 41/00）〔4〕 B29C33/00 模型或型芯；其零件或所用的附件〔4〕 B29C33/70 维修〔4〕 B29C33/72 清洗〔4〕	IPC分类号	B;2;9;C;3;3;/;7;2;;;H;0;1;L;2;1;/;5;6查看分类表>
申请人	西安微电子技术研究所	申请人地址	陕西省西安市雁塔区太白南路198号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安微电子技术研究所	当前权利人	西安微电子技术研究所
发明人	方兆国;陈中洲
代理机构	西安通大专利代理有限责任公司	代理人	暂无

摘要

本发明提供一种去除塑封模具中模盒型腔残留物的方法，包括如下步骤步骤1，先将塑封模具中模盒型腔加热，使所述的残留物分解、软化和焦化，得到焦化后的残留物；步骤2，将焦化后的残留物进行清扫，完成塑封模具中模盒型腔残留物的去除。本发明不涉及退镀、电镀和腐蚀等化学试剂处理工艺，在资源节约与环境保护方面远优于传统模具返厂维修；相比于化学试剂处理工艺更加温和，没有化学试剂的腐蚀影响，对模具和镀层的影响较小，对操作员工的健康无任何影响；相比于机械打磨工艺，附着残留物由高温高压气体清理，没有机械磨损现象，对模具和镀层的影响较小。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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