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一种硅基PiN紫外光电二极管及其制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201810023857.3
IPC分类号：H01L31/0352;H01L31/105;H01L31/18
申请日期：
2018-01-10
申请人：
西安理工大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种硅基PiN紫外光电二极管及其制备方法
申请号	CN201810023857.3	申请日期	2018-01-10
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-07-13	公开/公告号	CN108281496A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/0352 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或设备；其零部件（H01L 51/42优先；由形成在一共用衬底内或其上的多个固态组件，而不是辐射敏感元件与一个或多个电光源的结合所组成的器件入H01L 27/00）〔2，6，8〕 H01L31/0248 以其半导体本体为特征的〔5〕 H01L31/0352 以其形状或以多个半导体区域的形状、相关尺寸或配置为特征的〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;0;3;5;2;;;H;0;1;L;3;1;/;1;0;5;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	西安理工大学	申请人地址	陕西省西安市金花南路5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	西安理工大学	当前权利人	西安理工大学
发明人	蒲红斌;胡丹丹;王曦;石万
代理机构	西安弘理专利事务所	代理人	蒋姝泓

摘要

本发明公开了一种硅基PiN紫外光电二极管，包括铝电极和镍电极，两电极之间依次附有N型硅衬底、i层氧化镍薄膜和P型氧化镍薄膜。其制备方法是采用磁控溅射设备，利用氧化镍在硅上沉积成膜，形成PiN异质结结构，氧化镍薄膜可作为紫外光吸收层，解决了硅器件的紫外响应问题，制备过程简单易行。

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