基于纵横应力调整的SAW高温压力传感器温度补偿方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110396986.5
IPC分类号：G01L19/04
申请日期：
2011-12-02
申请人：
上海交通大学

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著录项信息

专利名称	基于纵横应力调整的SAW高温压力传感器温度补偿方法
申请号	CN201110396986.5	申请日期	2011-12-02
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-02	公开/公告号	CN102435384A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L19/04 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L19/00 用于测量流动介质的稳定或准稳定压力的仪表的零部件或附件，就这些零部件或附件而论不是特殊形式的压力计所专用的 G01L19/04 补偿温度变化影响的装置	IPC分类号	G;0;1;L;1;9;/;0;4查看分类表>
申请人	上海交通大学	申请人地址	上海市闵行区东川路800号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海交通大学	当前权利人	上海交通大学
发明人	吉小军;任姝;范彦平;韩韬;蔡萍
代理机构	上海汉声知识产权代理有限公司	代理人	郭国中

摘要

本发明涉及一种基于纵横应力调整的SAW高温压力传感器温度补偿的方法。其特征在于优化选择SAW敏感基片切型的基础上，将传统的平面形式的膜片结构优化设计为背面为内柱面的结构。本发明通过合理设计膜片直径、厚度、柱面半径等几何尺寸，来控制表面应力纵横比的分布状态，从而改变膜片表面的SAW谐振器的频率-温度特性，使得SAW器件的频率-温度特性在一个较宽的温度和压力范围内基本保持恒定，以达到宽温度和宽量程范围的更好的温度补偿效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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