一种单晶硅片的清洗装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120140589.0
IPC分类号：B08B1/04;H01L21/67
申请日期：
2021-01-19
申请人：
浙江众晶电子有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种单晶硅片的清洗装置
申请号	CN202120140589.0	申请日期	2021-01-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B1/04 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B1/00 利用工具，刷子或类似工具的清洁方法（B08B 3/12，B08B 6/00，B08B 9/00优先）〔2〕 B08B1/04 利用旋转动作的构件（B08B 1/02优先）	IPC分类号	B;0;8;B;1;/;0;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	浙江众晶电子有限公司	申请人地址	浙江省衢州市开化县华埠镇银辉路5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江众晶电子有限公司	当前权利人	浙江众晶电子有限公司
发明人	陈锋;沈国君;陆勇;汪国平
代理机构	温州青科专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	钱磊

摘要

本实用新型涉及硅片清洗技术领域，且公开了一种单晶硅片的清洗装置，包括机体，所述机体的内底壁固定连接有固定板，所述固定板的顶部滑动连接有U形板，所述U形板顶部的前侧和后侧均转动连接有旋转杆，所述机体左右两侧的内壁均固定连接有放置块，两个所述放置块相对的一侧活动连接有安装框。该单晶硅片的清洗装置，通过启动电机，使第二齿轮转动，带动第一齿轮转动，使两个旋转杆转动，使两个杆套上的刷毛对安装框内硅片本体的前后侧进行刷洗，并控制电动推杆伸缩，使移动板在框形板内部左右移动，从而使两个杆套上的刷毛对硅片的前后两面进行旋转并移动清洗，提高了单晶硅片的洗涤效率，进而有利于单晶硅片的快速清洗。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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