加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种薄膜压力传感器的测量装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310524678.5
  • IPC分类号:G01L25/00;G01L27/00
  • 申请日期:
    2013-10-28
  • 申请人:
    天津工业大学
著录项信息
专利名称一种薄膜压力传感器的测量装置
申请号CN201310524678.5申请日期2013-10-28
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-01-22公开/公告号CN103528754A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01L25/00IPC分类号G;0;1;L;2;5;/;0;0;;;G;0;1;L;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人天津工业大学申请人地址
天津市河东区成林道63号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人天津工业大学当前权利人天津工业大学
发明人刘皓;吴丽;李津
代理机构天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙)代理人田阳
摘要
本发明涉及一种薄膜压力传感器的测量装置。该薄膜压力传感器的测量装置包含测量机构和控制及信号采集部分。测量机构包括丝杆、横梁支架、步进电机、横梁、力传感器、直线轴承、轴、弹簧、上下电极、上下支撑板、支撑柱等,所述的测量机构特征在于力传感器固定在横梁上,横梁被套在丝杆上,步进电机能够驱动丝杆转动并带动横梁上下移动,所述的力传感器的下端固定一根轴,轴被放置于直线轴承之中,在轴的下端连接一根弹簧,弹簧的下端固定在绝缘连接柱上,所述的绝缘连接柱与上电极相连,在上下电极之间是待测的薄膜压力传感器,上下电极的两个连接点能够与外面的电压电阻测量单元相连。该测量装置具有操作简单和压力测量精度高等优点。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供