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一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910142182.9
  • IPC分类号:C23C14/56
  • 申请日期:
    2019-02-26
  • 申请人:
    佛山市佛欣真空技术有限公司
著录项信息
专利名称一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线
申请号CN201910142182.9申请日期2019-02-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-07-02公开/公告号CN109957783A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/56IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人佛山市佛欣真空技术有限公司申请人地址
广东省佛山市南海区狮山镇罗村联和工业区联桂中路7号之二 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人佛山市佛欣真空技术有限公司当前权利人佛山市佛欣真空技术有限公司
发明人武文全
代理机构芜湖思诚知识产权代理有限公司代理人崔金
摘要
本发明公开了一种用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,包括放卷室以及均通过螺栓和密封垫依次固定串接在放卷室后侧的清洗室、真空镀膜室、冷却室和收卷室。该用于工件表面镀膜的高效率直线型真空镀膜流水线,在实际使用时,让工件依次经过放卷、高压冲洗、真空镀膜、冷却降温以及收卷处理,其中真空镀膜环节的真空镀膜室通过隔板分成三个等大的小型真空镀膜室,并且这三个小型的真空度镀膜室分别对应设置抽真空系统和蒸汽发热源,将工件表面镀膜的区段分为三段或更多段,有利于镀膜处理时的效率和质量的保证,大大节约了工件表面镀膜的时间,降低了镀膜的成本,有利于中小型企业的推广使用。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供