一种对水路流量实时监测的电极冷却装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120204355.8
IPC分类号：H05B6/54;H05K7/20
申请日期：
2021-01-26
申请人：
江苏新顺微电子股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种对水路流量实时监测的电极冷却装置
申请号	CN202120204355.8	申请日期	2021-01-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05B6/54 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05B 电热；其他类目不包含的电照明 H05B6/00 通过电场、磁场或电磁场加热的（采用微波放射治疗的入A61N 5/02）〔3〕 H05B6/46 介电加热（H05B 6/64优先）〔3〕 H05B6/54 电极〔3〕	IPC分类号	H;0;5;B;6;/;5;4;;;H;0;5;K;7;/;2;0查看分类表>
申请人	江苏新顺微电子股份有限公司	申请人地址	江苏省无锡市江阴市高新区长山大道78号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏新顺微电子股份有限公司	当前权利人	江苏新顺微电子股份有限公司
发明人	陈礼梅;顾军魏
代理机构	江阴市轻舟专利代理事务所（普通合伙）	代理人	孙燕波

摘要

本实用新型涉及一种对水路流量实时监测的电极冷却装置，属于电极冷却装置技术领域。包括多组水路监测单元，多组所述水路监测单元并列布置，多组所述水路监测单元进口并联后通过出水总管与冷水机出口连通，多组所述水路监测单元出口并联后通过进水总管与冷水机进口连接；所述水路监测单元上分别设置腔体压力传感器，且所述腔体压力传感器分别通过对应的第一连接管与主机连接，所述第一连接管还与水路监测单元连接；所述主机通过信号线与特气柜连接，所述特气柜通过第二连接管与进水总管连通。本申请第一水流量传感器分别对对应的腔体内的水流量进行实时检测，主机终止对应的腔体执行工艺程序，避免了腔体真空异常的情况发生，提高了产品质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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