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从液体中选择性去除溶解的气体的系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201280013230.0
  • IPC分类号:B01D19/00;C02F1/20
  • 申请日期:
    2012-03-15
  • 申请人:
    MKS仪器股份有限公司
著录项信息
专利名称从液体中选择性去除溶解的气体的系统
申请号CN201280013230.0申请日期2012-03-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-12-11公开/公告号CN103442779A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D19/00IPC分类号B;0;1;D;1;9;/;0;0;;;C;0;2;F;1;/;2;0查看分类表>
申请人MKS仪器股份有限公司申请人地址
美国马萨诸塞州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人MKS仪器股份有限公司当前权利人MKS仪器股份有限公司
发明人U·布拉默;J·塞沃特;C·戈茨查克
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人张静
摘要
一种从液体中选择性地清除溶解的气体的系统,所述系统能够包括具有两个第一接触器入口和两个第一接触器出口的第一接触器。第一接触器能与液体源在第一接触器的第一入口流体连通,并与惰性气体源在第一接触器的第二入口流体连通。第一接触器的第二入口能接受惰性气体,所述惰性气体从液体源中清除第一部分的气体。第一部分的清除的气体能从第一接触器的第一出口排出第一接触器。所述系统也能包括含有两个第二接触器入口和两个第二接触器出口的第二接触器。第二接触器能与第一接触器的第二出口流体连通,并与惰性气体在第二接触器的第二入口源流体连通。第二接触器的第二入口能接受惰性气体,所述惰性气体从液体源中清除第二部分的气体。第二部分的清除的气体能从第二接触器的第一出口排出第二接触器。

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