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Ge-Sb-Te膜的成膜方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201180046575.1
  • IPC分类号:C23C16/455;C23C16/30
  • 申请日期:
    2011-09-05
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称Ge-Sb-Te膜的成膜方法
申请号CN201180046575.1申请日期2011-09-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-05-29公开/公告号CN103124806A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;3;0查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人河野有美子;有马进
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人金世煜;苗堃
摘要
一种Ge-Sb-Te膜的成膜方法,在处理容器内配置基板,将气态的Ge原料、气态的Sb原料和气态的Te原料导入到上述处理容器内通过CVD在基板上形成成为Ge2Sb2Te5的Ge-Sb-Te膜,其具有如下工序:将气态的Ge原料和气态的Sb原料、或在它们基础上还将不形成Ge2Sb2Te5程度的少量的气态的Te原料导入上述处理容器内,在基板上形成不含Te或含有与Ge2Sb2Te5相比少量的Te的前体膜的工序(工序2)以及将气态的Te原料导入处理容器内,使Te吸附在前体膜上,调整膜中的Te浓度的工序(工序3)。

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