一种电子级CF4的分析方法

1.一种电子级CF4的分析方法，其特征在于：
该方法实现一次进样，利用一套分析设备对CF4中的7种杂质组分进行分析，主要包括下述步骤：载气净化；色谱流程，包括利用色谱柱进行分离和利用色谱仪检测器进行色谱分析；中心切割。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：色谱柱包括预分离柱和分析柱，其中预分离柱长6.0 m，内径2mm，内装粒度为0.18mm～0.25mm的Porapak Q 有机多孔聚合物的不锈钢柱；分析柱为长9.0m，内径2mm，内装粒度为0.18mm～0.25mm的HayeSep DB的气相色谱级多孔聚合物的不锈钢柱。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：色谱仪检测器采用高压放电的检测器，检测*
器内部设计为放电区和测试区；放电氦气流通过放电区产生高能紫外光和亚稳态He，高能*
紫外光和亚稳态He 将经色谱柱分离随载气进入检测器的样品气中各个组分电离，产生的离子被测试区内的收集电极捕获，由此产生的信号经电路处理可以定量组分的含量。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于：载气纯度不低于99.99999%（V/V）。
5.如权利要求1所述的方法，其特征在于：载气净化采用40～60目的锆钒铁合金颗粒；该颗粒用高纯氦充分置换空气和水分等杂质后升温至260℃，通高纯氦气激活30min，然后降温；降温过程中有高纯氦保护；激活完成后保持净化系统不受外界环境的污染。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于：净化载气的温度为200℃。
7.如权利要求1所述的方法，其特征在于：色谱流程中包含分析路和切割路。
8.如权利要求7所述的方法，其特征在于：为了实现平稳切割的目的，切割路和分析路的载气流量一致。
9.如权利要求1所述的方法，其特征在于：在分析过程中有两个切割，其中切割1的时间正好在CF4要流出预分离柱之前的时间点；切割2的时间正好在样品中绝大部分，即
99.99%以上，的CF4流出预分离柱之后的时间点。
10.如权利要求1所述的方法，其特征在于：气路系统在0.3 MPa的恒温条件下保压
24h后，无泄漏。

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