一种晶圆检测装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201921518735.8
IPC分类号：G01N21/88;H01L21/66;B08B5/02;G01N21/01
申请日期：
2019-09-12
申请人：
紫光宏茂微电子（上海）有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种晶圆检测装置
申请号	CN201921518735.8	申请日期	2019-09-12
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/88 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/84 专用于特殊应用的系统〔3〕 G01N21/88 测试瑕疵、缺陷或污点的存在〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;8;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;6;;;B;0;8;B;5;/;0;2;;;G;0;1;N;2;1;/;0;1查看分类表>
申请人	紫光宏茂微电子（上海）有限公司	申请人地址	上海市青浦区工业园区崧泽大道9688号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	紫光宏茂微电子（上海）有限公司	当前权利人	紫光宏茂微电子（上海）有限公司
发明人	白落;潘中宝
代理机构	上海市嘉华律师事务所	代理人	黄琮

摘要

本实用新型实施例公开了一种晶圆检测装置。本实用新型的晶圆检测装置，包括：底板、移动机构、承载盘、支架、检测镜头、清洁机构和控制器，移动机构设置在底板的第一滑轨，承载盘设置在移动机构上，承载盘设有放置晶圆的圆形凹槽，支架设置在底板上，检测镜头设置在支架上，位于承载盘的上方，清洁机构包括：氮气源、吹气管和氮气管路，吹气管设置在支架上，通过氮气管路与氮气源连接。本实用新型的晶圆检测装置，氮气源向吹气管输送高压氮气，对晶圆进行清洁吹扫，检测镜头摄取清洁后的晶圆图像，并传送至检测设备，控制器控制晶圆前后和左右移动，以对晶圆进行全景检测，提高了晶圆的检测效率和良率，也保证后续的封装制程的顺利进行。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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