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一种胶黏剂、晶圆切割保护膜及其制备方法和应用

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011599690.9
  • IPC分类号:C09J133/08;C09J7/24;C08F220/18;C08F220/06;C08F220/44;C08F220/24;C08F218/12;C08F220/20;C08F220/14;C08F220/58;C08F220/32;H01L21/683
  • 申请日期:
    2020-12-29
  • 申请人:
    苏州赛伍应用技术股份有限公司
著录项信息
专利名称一种胶黏剂、晶圆切割保护膜及其制备方法和应用
申请号CN202011599690.9申请日期2020-12-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-04-30公开/公告号CN112724888A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C09J133/08IPC分类号C;0;9;J;1;3;3;/;0;8;;;C;0;9;J;7;/;2;4;;;C;0;8;F;2;2;0;/;1;8;;;C;0;8;F;2;2;0;/;0;6;;;C;0;8;F;2;2;0;/;4;4;;;C;0;8;F;2;2;0;/;2;4;;;C;0;8;F;2;1;8;/;1;2;;;C;0;8;F;2;2;0;/;2;0;;;C;0;8;F;2;2;0;/;1;4;;;C;0;8;F;2;2;0;/;5;8;;;C;0;8;F;2;2;0;/;3;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;3查看分类表>
申请人苏州赛伍应用技术股份有限公司申请人地址
江苏省苏州市吴江经济技术开发区叶港路369号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州赛伍应用技术股份有限公司当前权利人苏州赛伍应用技术股份有限公司
发明人鄢家博;吴喜来;芋野昌三;陈洪野;吴小平
代理机构北京品源专利代理有限公司代理人巩克栋
摘要
本发明提供一种胶黏剂、晶圆切割保护膜及其制备方法和应用。所述胶黏剂包括如下重量份数的原料组分:软单体20~40份、硬单体1~10份、功能单体5~20份、含氟单体0.1~5份、引发剂0.1~0.6份和交联剂0.1~2份。所述胶黏剂是将软单体、硬单体、功能单体、溶剂和引发剂混合后,加入含氟单体进行反应,得到预聚物;然后将预聚物和交联剂混合的方法制备得到的。所述晶圆切割保护膜包括依次设置的软质基材层、胶黏剂层和离型膜层;所述胶黏剂层由上述胶黏剂制备得到。本发明提供的晶圆切割保护膜具有较好的初粘力、剥离力、耐高温性和耐水性,在晶圆剥离时无残胶遗留,符合使用要求。

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