液晶基板洗净移载装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN02252593.9
IPC分类号：--
申请日期：
2002-09-11
申请人：
东捷半导体科技股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	液晶基板洗净移载装置
申请号	CN02252593.9	申请日期	2002-09-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	东捷半导体科技股份有限公司	申请人地址	台湾省台南县新市乡南科五路6号3楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东捷科技股份有限公司	当前权利人	东捷科技股份有限公司
发明人	严灿焜
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	周长兴

摘要

一种液晶基板洗净移载装置，包含有：一座体；二卡匣座，分别设置于该座体的进料端及出料端；其中至少一卡匣座枢设于该座体而可旋摆；一旋转放置台，设置于该座体且位于该二卡匣之间；一吸取机构，由一吸嘴若干滑轨所组成，该等滑轨设置于该座体上，该吸嘴则设置于至少一滑轨上，得受驱动而于该座体上做X、Y轴的位移；一移载手臂，设置于该座体上方，且位于该等卡匣座以及该旋转放置台的上方，可相对于该座体做X、Y、Z轴三度空间移动，该移载手臂的前端具有一旋摆板，得旋摆而呈垂直或水平状；由此，得使液晶基板在移载过程中不易掉片，亦不易造成液晶基板损坏。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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