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测量单晶硅棒端面垂直度的高度尺

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020243388.5
  • IPC分类号:G01B5/245
  • 申请日期:
    2010-07-01
  • 申请人:
    邢台晶龙电子材料有限公司
著录项信息
专利名称测量单晶硅棒端面垂直度的高度尺
申请号CN201020243388.5申请日期2010-07-01
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B5/245IPC分类号G;0;1;B;5;/;2;4;5查看分类表>
申请人邢台晶龙电子材料有限公司申请人地址
河北省邢台市开发区信都南路168号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人邢台晶龙电子材料有限公司当前权利人邢台晶龙电子材料有限公司
发明人刘彬国;何京辉;牛敬磊
代理机构石家庄国为知识产权事务所代理人米文智
摘要
本实用新型公开了一种测量单晶硅棒端面垂直度的高度尺,包括:底座、垂直固定于底座上的刻度尺、安装在刻度尺上的游标以及位于游标侧部的测量爪,所述底座下方设有与切断机的机床滑道相适配的凸条。该测量单晶硅棒端面垂直度的高度尺结构简单、操作方便、可准确控制单晶硅棒端面的垂直度。

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