表面等离激元诱导的电子发射源

发明专利有效专利

申请号：
CN202011183250.5
IPC分类号：H01J1/34;H01J37/26;H01J37/28;H01J40/06
申请日期：
2020-10-29
申请人：
清华大学

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著录项信息

专利名称	表面等离激元诱导的电子发射源
申请号	CN202011183250.5	申请日期	2020-10-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2021-02-26	公开/公告号	CN112420466A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J1/34 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J1/00 电极的、磁控装置的、屏的零部件及其设置或间隔，通用于两种以上基本类型的放电管或灯的零部件（电子光学装置的零部件或离子阱的零部件入H01J 3/00） H01J1/02 主电极 H01J1/34 光电发射阴极（H01J 1/35优先）	IPC分类号	H;0;1;J;1;/;3;4;;;H;0;1;J;3;7;/;2;6;;;H;0;1;J;3;7;/;2;8;;;H;0;1;J;4;0;/;0;6查看分类表>
申请人	清华大学	申请人地址	北京市海淀区双清路30号清华大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学	当前权利人	清华大学
发明人	刘仿;王哲宣;黄翊东;崔开宇;冯雪;张巍
代理机构	北京路浩知识产权代理有限公司	代理人	杨云云

摘要

本发明实施例提供一种表面等离激元诱导的电子发射源，包括：泵浦源发出光与金属牛眼光栅相互作用产生表面等离激元近场，通过中心小孔到达光阴极材料层，与光阴极材料相互作用产生电子，电子收集器收集所述电子，金属牛眼光栅的周期与表面等离激元的波矢满足：金属牛眼光栅的周期与表面等离激元的波矢之积为2π的整数倍；光阴极材料层为预设特殊材料，以使得表面等离激元近场照射到光阴极材料上，产生光致电子发射现象。本发明实施例基于光致电子发射原理和表面等离激元结合的高分辨率电子源，降低电子束的能散，提高了亮度。

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