一种化学机械抛光液

发明专利有效专利

申请号：
CN201911320533.7
IPC分类号：C09G1/02
申请日期：
2019-12-19
申请人：
安集微电子（上海）有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种化学机械抛光液
申请号	CN201911320533.7	申请日期	2019-12-19
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-22	公开/公告号	CN113004797A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09G1/02 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09G 虫胶清漆除外的抛光组合物；滑雪屐蜡 C09G1/00 抛光组合物（虫胶清漆入C09F 11/00；洗涤剂入C11D） C09G1/02 含有磨料或研磨剂	IPC分类号	C;0;9;G;1;/;0;2查看分类表>
申请人	安集微电子（上海）有限公司	申请人地址	上海市浦东新区张江高科技园区碧波路889号1幢E座第1至第2层，以及第3层的部分区域变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安集微电子（上海）有限公司	当前权利人	安集微电子（上海）有限公司
发明人	李守田;任晓明;贾长征
代理机构	北京大成律师事务所	代理人	李佳铭;王芳

摘要

本发明提供一种化学机械抛光液，所述化学机械抛光液包含水、氧化铈、聚季氨盐、含苯环的羧酸、以及聚乙烯胺。只有聚季氨盐、含苯环的羧酸、聚乙烯胺三者一起使用，才会实现真正意义的自动停止功能，在空白片具有较低的抛光速率，而在图案化硅片的高的台阶高度时保持高的抛光速率，台阶高度越低时抛光速度抑制得越好，从而实现自动停止的功能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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