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大宗特殊气体供应系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202023121644.6
  • IPC分类号:F17D1/04;F17D1/075;F17D3/01;F17D5/00;F17C13/08;F17C13/00
  • 申请日期:
    2020-12-22
  • 申请人:
    浙江东开半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称大宗特殊气体供应系统
申请号CN202023121644.6申请日期2020-12-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F17D1/04IPC分类号F;1;7;D;1;/;0;4;;;F;1;7;D;1;/;0;7;5;;;F;1;7;D;3;/;0;1;;;F;1;7;D;5;/;0;0;;;F;1;7;C;1;3;/;0;8;;;F;1;7;C;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人浙江东开半导体科技有限公司申请人地址
浙江省杭州市经济技术开发区白杨街道科技园路57号17幢915-918室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江东开半导体科技有限公司当前权利人浙江东开半导体科技有限公司
发明人隋英羿
代理机构杭州裕阳联合专利代理有限公司代理人司晓蕾
摘要
本实用新型公开了大宗特殊气体供应系统,涉及特殊气体供应技术领域,包括深度吹扫箱组和主供应柜,所述深度吹扫箱组和主供应柜通过气体管道连接起来,所述深度吹扫箱组为两套,所述每套深度吹扫箱组包括至少两个并联设置的深度吹扫箱,所述每个深度吹扫箱设有瓶头接口,所述瓶头接口用于连接气体储存设备。这样的设计增加了存储设备的数量,提高持续供气的能力,同时精简构造,减少气体泄露发生的几率。

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