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一种多功能的蚀刻装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810214401.5
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L21/677
  • 申请日期:
    2018-03-15
  • 申请人:
    福建省福联集成电路有限公司
著录项信息
专利名称一种多功能的蚀刻装置
申请号CN201810214401.5申请日期2018-03-15
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2018-08-28公开/公告号CN108461426A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人福建省福联集成电路有限公司申请人地址
福建省莆田市涵江区涵港西路368号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人福建省福联集成电路有限公司当前权利人福建省福联集成电路有限公司
发明人许孟凯;黄建顺;王嘉伟;陈胜男;林张鸿;林豪;林伟铭
代理机构福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)代理人林祥翔;徐剑兵
摘要
本发明公开一种多功能的蚀刻装置,包括反应槽、多轴运动机械手臂、溢流槽、循环洁净单元、喷淋单元和入射单元,所述多轴运动机械手臂设置在反应槽上方,所述溢流槽设置在反应槽外部的四周,所述循环洁净单元用于抽取并过滤抽取的液体,喷淋单元设置在反应槽的槽口且喷淋方向指向反应槽的槽口,所述入射单元设置在反应槽的底部,循环洁净单元的第一进液口与反应槽底部连通。上述技术方案通过多轴运动机械手臂可以实现晶圆在溶液内不同方向的运动,可以移动晶圆到不同的反应槽内进行反应或者清洗。喷淋单元可以避免晶圆上的反应物残留,进而提高化学蚀刻的品质。抛物面的反射罩可以实现均匀场流,进而提高化学蚀刻的品质。

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