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一种金属掩膜板

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202022129679.8
  • IPC分类号:C23C14/04;C23C14/14;C23C14/24;H01L51/56
  • 申请日期:
    2020-09-25
  • 申请人:
    福建华佳彩有限公司
著录项信息
专利名称一种金属掩膜板
申请号CN202022129679.8申请日期2020-09-25
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/04IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;4;;;C;2;3;C;1;4;/;1;4;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;H;0;1;L;5;1;/;5;6查看分类表>
申请人福建华佳彩有限公司申请人地址
福建省莆田市涵江区涵中西路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人福建华佳彩有限公司当前权利人福建华佳彩有限公司
发明人林少钦
代理机构福州市景弘专利代理事务所(普通合伙)代理人林祥翔;徐剑兵
摘要
本实用新型公开一种金属掩膜板,金属掩膜板母板上设有多个第一有效区开口,金属掩膜片上设有多个第二有效区开口;第二有效区开口在金属掩膜板母板上正投影落入对应的第一有效区开口;金属掩膜板母板上设有多个第一校正区开口,金属掩膜片上设有多个第二校正区开口;第二正区开口在金属掩膜板母板上正投影落入对应的第一校正区开口;每个金属掩膜片上至少设一个第二校正区开口;金属掩膜片对应的金属掩膜板母板的区域上,至少设置一个与第二校正区开口对应的第一校正区开口。多个金属掩膜片的设置节约了制作成本;通过金属掩膜片的分区设置,仅对单个金属掩膜片进行调整减少耗时,可进行多次对位校正,对做出高分辨率OLED产品具有积极意义。

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