新型化合物、半导体材料、以及使用了其的膜以及半导体的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201780078579.5
IPC分类号：C07C39/04;H01L51/00
申请日期：
2017-12-20
申请人：
默克专利有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	新型化合物、半导体材料、以及使用了其的膜以及半导体的制造方法
申请号	CN201780078579.5	申请日期	2017-12-20
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-08-02	公开/公告号	CN110088072A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C07C39/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C07 有机化学〔2〕 C07C 无环或碳环化合物（高分子化合物入C08；有机化合物的电解或电泳生产入C25B 3/00，C25B 7/00） C07C39/00 至少有1个羟基或氧-金属基连接在六元芳环碳原子上的化合物 C07C39/02 带有饱和侧链的单芳环 C07C39/04 苯酚	IPC分类号	C;0;7;C;3;9;/;0;4;;;H;0;1;L;5;1;/;0;0查看分类表>
申请人	默克专利有限公司	申请人地址	德国达姆施塔特变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	默克专利有限公司	当前权利人	默克专利有限公司
发明人	中杉茂正;柳田浩志;黑泽和则;关藤高志;滨祐介;松浦裕里子
代理机构	北京三幸商标专利事务所（普通合伙）	代理人	刘卓然

摘要

本发明提供一种半导体材料和膜，其在溶剂中的溶解性高，并且具有高的填充性、耐热性以及/或者蚀刻耐受性。进一步提供使用了该半导体材料的半导体的制造方法。本发明提供一种新型化合物。提供了：一种由特定的芳香族烃环衍生物构成的半导体材料、以及使用了该半导体材料的膜以及半导体的制造方法。一种由特定的芳香族烃环衍生物构成的化合物。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供