用于生产硅细棒的系统和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201280043217.X
IPC分类号：B23K26/38;B23K26/53;B23K26/70;B23K26/14;C01B33/021
申请日期：
2012-07-30
申请人：
ATS自动化加工系统公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于生产硅细棒的系统和方法
申请号	CN201280043217.X	申请日期	2012-07-30
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2014-05-07	公开/公告号	CN103781587A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/38 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/36 除掉材料（B23J26/55，B23K26/57优先）〔7，2014.01〕 B23K26/38 利用镗孔或切削〔7，2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;3;8;;;B;2;3;K;2;6;/;5;3;;;B;2;3;K;2;6;/;7;0;;;B;2;3;K;2;6;/;1;4;;;C;0;1;B;3;3;/;0;2;1查看分类表>
申请人	ATS自动化加工系统公司	申请人地址	加拿大安大略省剑桥市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ATS自动化加工系统公司	当前权利人	ATS自动化加工系统公司
发明人	杰拉尔德·伍顿;史蒂芬·范·鲁克
代理机构	北京高文律师事务所	代理人	徐江华

摘要

本发明涉及一种用于制备多晶硅细棒的方法和系统，该方法和系统包括：将多晶硅片放置在夹具上；向该多晶硅片施加预定的激光束或磨蚀射流；以及将多晶硅细棒与多晶硅片分离。激光束可用于根据选定的操作参数进行切割或裂解。也可以存在所使用的切割和裂解的各种组合，以便将细棒与多晶硅片分离。例如，激光切割可以被划线和/或局部切割，并且分离可以通过裂解剩余的硅实现。在该情况下，裂解可例如通过机械弯曲或激光裂解实现。一般而言，用于裂解的激光束可不同于用于切割的激光束且具有不同于用于切割的激光束的操作参数。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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