一种机械手及真空反应设备

发明专利无效专利

申请号：
CN201410320518.3
IPC分类号：H01L21/677;H01L21/687;H01L21/67
申请日期：
2014-07-07
申请人：
京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种机械手及真空反应设备
申请号	CN201410320518.3	申请日期	2014-07-07
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2014-12-10	公开/公告号	CN104201142A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/677 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/677 用于传送的，例如在不同的工作站之间〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司	申请人地址	北京市朝阳区酒仙桥路10号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司	当前权利人	京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司
发明人	张益存;张定涛;张光明;陈泽;吴成龙;李伟
代理机构	北京中博世达专利商标代理有限公司	代理人	申健

摘要

本发明公开了一种机械手及真空反应设备，涉及半导体制造设备技术领域，为解决真空反应设备的生产效率低的问题。所述机械手包括旋转轴，与所述旋转轴固定连接的第一支撑板，滑动安装在所述第一支撑板上的第一连接板，与所述第一连接板固定连接的两个第二支撑板，每个第二支撑板上对应的设有一个第二连接板，每个所述第二连接板可在水平面内转动，每个第二连接板上设有一个手臂，每个手臂包括用于托持板状产品的数个分支，所述数个分支滑动安装在对应的所述第二连接板上，并可相对该第二连接板进行同步水平移动。所述真空反应设备包括上述技术方案所提的至少一个机械手。本发明提供的机械手用于提高真空反应设备的生产效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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