一种真空镀膜的三次掩膜基片台结构

实用新型有效专利

申请号：
CN201921871802.4
IPC分类号：C23C14/04
申请日期：
2019-11-02
申请人：
洛阳奥尔材料科技有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种真空镀膜的三次掩膜基片台结构
申请号	CN201921871802.4	申请日期	2019-11-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/04 局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物〔4〕	IPC分类号	C23C14/04查看分类表>
申请人	洛阳奥尔材料科技有限公司	申请人地址	河南省洛阳市涧西区浅井头一街坊7幢2-4*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	洛阳奥尔材料科技有限公司	当前权利人	洛阳奥尔材料科技有限公司
发明人	邹杨;孙蕾;邹松东
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本实用新型涉及三次掩膜基片台技术领域，且公开了一种真空镀膜的三次掩膜基片台结构，包括掩膜箱，所述掩膜箱的顶部固定安装固定板，所述固定板顶部铆接有定位筒，所述固定板上开设有与掩膜箱内部相连通的开口槽，所述定位筒通过开口槽与掩膜箱的内部连通。本实用新型，通过拉动旋转把手，把定位块带入定位槽内，然后通过手动转动旋转把手可带动掩膜板转动，从而可控制掩膜板的角度和形状，然后通过定位销对基片架和掩膜板进行固定，即可获取三此掩膜，通过在基片台内部开设调节腔，且调节构件上套设有固定连接的阻尼块，可对调节构件起到保持稳定的作用，从而使装置打动够稳定的增加掩膜次数真空镀膜的三次掩膜基片台结构。