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反应管

外观设计专利无效专利

申请号：
CN200830138129.4
LOC分类号：--
申请日期：
2008-11-11
申请人：
株式会社日立国际电气

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	反应管
申请号	CN200830138129.4	申请日期	2008-11-11
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	LOC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社日立国际电气	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社日立国际电气	当前权利人	株式会社日立国际电气
发明人	冈田格;竹林雄二;加藤努;山崎裕久;境正宪
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	苏娟

摘要

1.本外观设计产品为一种半导体制造用衬底处理装置。

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