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封装结构

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202011545070.7
  • IPC分类号:H01L23/498;H01L23/31;H01L21/50;H01L21/56
  • 申请日期:
    2020-12-23
  • 申请人:
    台湾积体电路制造股份有限公司
著录项信息
专利名称封装结构
申请号CN202011545070.7申请日期2020-12-23
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-06-25公开/公告号CN113035823A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/498IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;4;9;8;;;H;0;1;L;2;3;/;3;1;;;H;0;1;L;2;1;/;5;0;;;H;0;1;L;2;1;/;5;6查看分类表>
申请人台湾积体电路制造股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行六路八号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人台湾积体电路制造股份有限公司当前权利人台湾积体电路制造股份有限公司
发明人叶宫辰;卢思维;蔡宗甫;施应庆
代理机构南京正联知识产权代理有限公司代理人顾伯兴
摘要
本发明提供一种封装结构,包含插入件、至少一个半导体管芯以及绝缘密封体。插入件包含半导体衬底和设置在半导体衬底上的内连线结构,内连线结构包含层间介电膜和嵌入于层间介电膜中的内连线布线,半导体衬底包含第一部分和设置在第一部分上的第二部分,内连线结构设置在第二部分上,且第一部分的第一最大横向尺寸大于第二部分的第二最大横向尺寸。至少一个半导体管芯设置在内连线结构上方且电连接到内连线结构。绝缘密封体设置在第一部分上,其中绝缘密封体横向地密封至少一个半导体管芯和第二部分。本发明可防止插入件晶片中的内连线结构的裂纹问题或碎裂问题。

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