一种多晶硅还原炉及生产线

发明专利有效专利

申请号：
CN202110527952.9
IPC分类号：C01B33/035
申请日期：
2021-05-14
申请人：
亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海亚洲硅业半导体有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司

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专利名称	一种多晶硅还原炉及生产线
申请号	CN202110527952.9	申请日期	2021-05-14
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-27	公开/公告号	CN113173583A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/035 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/02 硅（形成单晶或有一定结构的均匀多晶材料入C30B）〔5〕 C01B33/021 制备（由气相的化学涂层入C23C 16/00）〔5〕 C01B33/027 使用除二氧化硅或含二氧化硅物料以外的气态或汽化的硅化合物的分解或还原〔5〕 C01B33/035 在存在硅、碳或耐熔金属（如钽或钨）的热丝情况下，或在存在热硅棒［通过沉积硅，如西门子法（siemens process）获得硅棒］情况下，用气态或汽化的硅化合物的分解或还原〔5〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;0;3;5查看分类表>
申请人	亚洲硅业（青海）股份有限公司;青海亚洲硅业半导体有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司	申请人地址	青海省西宁市经济技术开发区金硅路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	亚洲硅业（青海）股份有限公司,青海亚洲硅业半导体有限公司,青海省亚硅硅材料工程技术有限公司	当前权利人	亚洲硅业（青海）股份有限公司,青海亚洲硅业半导体有限公司,青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
发明人	吉红平;李宇辰;王琳;施光明;何乃栋;杨月龙;陈宏博;郭光伟
代理机构	北京卓恒知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本发明提供了一种多晶硅还原炉及生产线，属于多晶硅生产设备领域。上述还原炉包括底盘、罩体、尾气管和输气管组件，罩体罩设在底盘上形成反应腔，尾气管与反应腔连通。输气管组件包括第一输气管；第一输气管竖直设置在反应腔中，包括第一外壳；第一外壳的底部与底盘连接。第一输气管上设置有多个第一喷气管，多个第一喷气管与第一外壳连接，并分布于第一外壳的上部和下部。使进料混合气均匀喷到硅芯上，有效改善硅棒上下粗细不均及致密度不同问题，使得硅棒上下直径及致密度一致，产品质量得到有效提升；同时有效提升硅棒下端沉积速率，提升了单晶比例和单炉产量。

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