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降低曝光图形拼接处色差的方法及装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811653045.3
  • IPC分类号:G03F7/20;G02F1/13;G02F1/1337
  • 申请日期:
    2018-12-29
  • 申请人:
    成都中电熊猫显示科技有限公司
著录项信息
专利名称降低曝光图形拼接处色差的方法及装置
申请号CN201811653045.3申请日期2018-12-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-03-19公开/公告号CN109491218A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;2;F;1;/;1;3;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3;7查看分类表>
申请人成都中电熊猫显示科技有限公司申请人地址
四川省成都市双流区公兴街道青栏路1778号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人成都中电熊猫显示科技有限公司当前权利人成都中电熊猫显示科技有限公司
发明人彭林;李广圣;唐乐;李增慧;陈云亮
代理机构北京同立钧成知识产权代理有限公司代理人李小波;刘芳
摘要
本发明提供一种降低曝光图形拼接处色差的方法及装置,所述降低曝光图形拼接处色差的方法包括:调整拼接在一起的两个掩膜版的其中一个的位置偏移量,并同时调整被调整了位置偏移量的掩膜版所对应的蝇眼透镜与该蝇眼透镜对应的反射镜之间的距离,以使曝光后对应两个掩模版拼接处的暗线组成v字形状;其中,所述反射镜为将光线直接反射到该蝇眼透镜的反射镜。本发明提供一种降低曝光图形拼接处色差的方法及装置,可弱化曝光图形拼接处的色差。

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