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一种同轴宏微复合直线运动平台装置

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201320094304.X
  • IPC分类号:B23Q1/34;B23Q1/26;B23Q17/24;B23Q23/00
  • 申请日期:
    2013-03-01
  • 申请人:
    广东工业大学
著录项信息
专利名称一种同轴宏微复合直线运动平台装置
申请号CN201320094304.X申请日期2013-03-01
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B23Q1/34IPC分类号B;2;3;Q;1;/;3;4;;;B;2;3;Q;1;/;2;6;;;B;2;3;Q;1;7;/;2;4;;;B;2;3;Q;2;3;/;0;0查看分类表>
申请人广东工业大学申请人地址
广东省广州市番禺区广州大学城外环西路100号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人广东工业大学当前权利人广东工业大学
发明人杨志军;白有盾;陈新;高健;陈新度;刘冠峰;李克天;李泽湘;杨海东
代理机构广州粤高专利商标代理有限公司代理人林丽明
摘要
本实用新型公开了一种同轴宏微复合直线运动平台装置及其精度补偿方法。包括有宏运动装置、微运动装置、控制装置和位置检测装置。其中宏运动装置由伺服驱动器、直线驱动模块、直线导轨、底座和宏动工作平台构成;微运动装置是由压电陶瓷驱动器或音圈电机、柔性铰链放大机构组成;柔性铰链放大机构由柔性铰链、微动工作平台、框架构成;压电陶瓷驱动器或音圈电机驱动柔性铰链放大结构,带动微动工作平台产生位移;位置检测装置实时检测宏微运动工作平台的位移信息,并将其送给所述控制装置;控制装置根据宏微运动的位移传感器检测信息,驱动微动工作平台实时补偿宏运动装置的运动,进而实现所述同轴宏微复合直线运动平台装置的高静态精度及高动态精度。

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供