涂敷装置及涂敷体的制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201310070805.9
IPC分类号：B05C5/00;B05C11/08;B05C11/10;H01L21/67
申请日期：
2013-03-06
申请人：
株式会社东芝

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	涂敷装置及涂敷体的制造方法
申请号	CN201310070805.9	申请日期	2013-03-06
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-18	公开/公告号	CN103301993A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05C5/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05C 一般对表面涂布液体或其他流体的装置（喷射装置、雾化装置、喷嘴入B05B；把液体或其他流体涂布于物体上的静电喷射装置入B05B 5/08）〔2〕 B05C5/00 将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置（B05C 7/00，B05C 19/00优先）	IPC分类号	B;0;5;C;5;/;0;0;;;B;0;5;C;1;1;/;0;8;;;B;0;5;C;1;1;/;1;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	株式会社东芝	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社东芝	当前权利人	株式会社东芝
发明人	佐藤强;大城健一
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	戚宏梅;杨谦

摘要

本发明涉及涂敷装置及涂敷方法。涂敷装置具备：工作台，具有用于载置涂敷对象物的载置面；旋转机构，使工作台旋转；涂敷喷嘴，向工作台上的涂敷对象物喷出涂敷材料；移动机构，使涂敷喷嘴相对于载置在工作台上的涂敷对象物进行移动；供给装置，对涂敷喷嘴供给材料；排出装置，排出材料；连通管，将供给装置、涂敷喷嘴和排出装置连通；阀装置，设置于连通管，将供给部与涂敷喷嘴、供给装置与排出装置、以及涂敷喷嘴与排出装置中的任一对导通，并且具备能够切换导通的阀体；以及控制部，通过旋转机构使载置有涂敷对象物的工作台旋转，切换阀装置而将供给部和涂敷喷嘴导通，驱动移动机构而使涂敷喷嘴移动，向工作台上的涂敷对象物涂敷涂敷材料。

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